-
이메일
sales-sci.cn@horiba.com
-
전화
13681872955
-
주소
상해시 천산서로 1068호 련강국제광장 A동 1층 D단원
HORIBA (China)
베이징과학기술대학 최신 Science: 원자층 결합 접촉 이론, 2차원 반도체 칩 제조 타당성 검증!• 사용자 성과 익스프레스
날짜:2025-12-18읽기 :0
베이징과학기술대학은'사이언스'(Science)에서 최신 성과인'2차원 반도체의 원자층 결합 접촉'(Atomic layer bonding contacts in two-dimensional semiconductors)을 발표했다.이 성과는 원자층 결합의 독창적인 학술 사상을 제시하고 2차원 반도체 재료인 원자층 정밀 커팅과 이질 외연 신기술을 발전시켰다.최초2차원 반도체 재료와 금속 전극의 원자층 결합을 실현하여 2차원 반도체 재료가 실리콘 기반 집적회로 후도 제조 공정의 열 예산을 만족시킬 수 없는 핵심 병목 현상을 돌파하여 고온 공정에서의최소접촉 저항 및최적전기학 수송 성능은 2차원 반도체 재료의 미래 칩 제조의 타당성을 충분히 검증했다.
베이징과학기술대학 최전방 교차과학기술연구원 박사후 고려와 박사연구생 천장이를 논문의 공동 제1저자로, 장선곤 교수, 장쟁 교수, 장약 원사를 논문 공동 교신저자로 한다.
연구 배경
에서집적 회로영역, 우수한금속과 반도체의 접촉 성능부품 제조의 중대한 도전이다.전통적인 반도체 부품 제조중, 강한 결합의 금속과 반도체 접촉 인터페이스를 통해 응용 수요에 도달하는 저접촉 저항, 고열 기계 안정성 및 우수한 인터페이스 열전도율/전도율의 트랜지스터 부품을 구축한다.그러나표면에 매달린 키가 없는 2차원 과도금속 유황족 화합물(TMDs) 재료의 구현 방법금속 전극 재료와의 강한 결합 접촉2차원 반도체 소재를 괴롭히고 있습니다.첨단 공정 집적 회로애플리케이션의 획기적인주요 병목 현상。
연구 성과
장약 원사 팀추진2차원 반도체 재료에서집적회로 공정화 응용금속 중심 -2차원 반도체문제를 접하고 혁신적으로 제기하였다원자층 결합(원자 층 결합, ALB)的독창적 인 학술 사상, 2차원 반도체 재료 이황화 몰리브덴 표면의 단층 황 원자를 정확하게 제거하고 금속 전극 재료를 직접 퇴적함으로써 안정적인 과도 금속 단원자층과 금속 전극 단원자층 간의 접촉 인터페이스를 구축하여 실현했다전자 구조와 격자 구조의 정확한 조절, 성공적으로 겸비 구축강력한 대역 결합 및 높은 결합 강도의 원자층 결합 접촉 인터페이스는 이론적 접촉 한계에 근접한, 낮은 70 μm 의 접촉 저항과 400 ℃ 에 달하는 열 기계적 안정성을 획득하여 국제 반도체 부품 및 시스템 기술 로드맵 (IRDS) 에서고성능 전자 부품의 응용 요구。
그림 1 원자층 결합(ALB) 접촉의 설계와 원자구조 표징
그림 2 ALB 접촉 트랜지스터의 성능
계기 공헌
본 연구는 HORIBA HR800 코크스 라만 분광기(현재 전체 업그레이드:LabRAM 오디세이서로 다른 접촉 방식에서의 MoS 트랜지스터 도랑 응력 분석을 실시한 결과 원자층 결합(ALB)으로 접촉한 MoS 트랜지스터는 가열 전후에 응력의 영향을 받지 않았고, 직접 금이 접촉한 도랑은 심각한 인장 응력을 받았음을 확인했다 (그림 3).
그림 3은 ALB 접촉 (위) 과 직접 금 접촉 (아래) 의 MoS₂트랜지스터 도랑 영역이 가열 전후의 라만 스펙트럼을 사용한다
LabRAM 오디세이
고속 고해상도 현미경 코크스 라만 분광기
라만 스펙트럼은 격자의 진동 특성과 성자의 물성을 탐지하는 데 자주 사용되는 표징 수단이다.HORIBA LabRAM Odyssey는 초고스펙트럼 해상도로 재료의 층수 식별, 결함 탐지, 응력 분석 및 구조 해석에 사용할 수 있습니다.이 설비는 공초점 현미경 기술을 결합하여 잡산광 간섭을 효과적으로 억제하여 높은 신호 잡음비의 라만 스펙트럼 데이터를 얻을 수 있다.개방형 설계는 또한 통합 2차 고조파 (SHG), 편광 및 광전류 등 다중 모드 이미징 기능을 지원한다.
요약 및 전망
원자 레이어 결합(ALB) 접촉은2차원 반도체와 금속 전극 접촉 인터페이스 문제를 해결하다새로운 기술 노선,돌파했어산업화 발전을 위한 2차원 반도체 재료의 핵심 병목 현상을 제한하는 것은강력한 추진2차원 반도체 부품은 실험실에서 규모화 제조로 발전했다.
저자 소개
장약최전방 교차 과학 기술 연구원 원사
저차원 반도체 재료 및 그 취역 행위에 대한 연구에 종사하여 저차원 반도체 재료의 최전방 연구와 국가의 중대한 수요를 결합시키는 데 주력하였으며, 정보, 에너지 및 센싱 분야의 핵심 재료와 부품 응용의 기초 이론, 제조 기술 및 공정 응용 방면에서 체계적이고 혁신적인 중요한 공헌을 하였다.주관은 국가중대과학연구계획, 국가중점연구개발계획 전문항목, 국가자연과학기금 중대항목, 중점항목, 국가중대과학연구기기 연구제작항목, 과학기술부와 국가자연과학기금 중대국제협력교류항목, 교육부와 국가외전국대학교 학과혁신인지계획, 성부급항목 등 60여개를 담당하였다.에서Science、Nature、Nature Materials、Nature Nanotechnology、Nature Energy、Nature Electronics등 국내외 저널에 SCI 논문 450여 편을 발표한다.중국어 전문 저서 8부, 영어 전문 저서 5부를 저술하여 출판하다.권한 부여특허100여개 항목,제1완성자로 국가자연과학 2등상 1개, 성부급 과학기술성과 1등상 3개, 성부급 교수성과 1등상 2개를 수상하였다.
위에서 언급한 제품에 관심이 있으시면 샘플이나 메모를 얻기 위해 코드를 스캔하는 것을 환영합니다. 엔지니어가 즉시 연락 드리겠습니다.
견본책 얻기↑ ↑
상담 상품↑↑
※ 이 글의 참고내용은 공중번호: 북경과학기술대학