인피니콘 진공계는 고진공도 영역 내의 가스 압력(공기 밀도가 대기압보다 낮은 범위)을 측정하는 데 사용되는 기기다.그 작업 원리는 가스 분자와 표면 사이의 충돌, 그리고 가스 분자의 진공 조건에서의 운동 특성에 기초한다.
그것의 종류는 매우 많은데, 이러한 기기들은 서로 다른 원리로 작동하는데, 예를 들면 열전자와 음극 음이온의 흐름, 대유량 흡수, 용적 압력 측정과 진동 방식 등이다.서로 다른 진공계는 서로 다른 특징과 장단점을 가지고 있어 실제 수요에 따라 적합한 기구를 선택할 수 있다.
inficon 진공계의 기본 원리:
두 개의 전극을 포함하는데, 그 중 하나는 양극 (음극선관 또는 전자총) 이고, 다른 하나는 음극 (수신기) 이다.고압 전원을 넣으면 양극은 전자빔을 발사하여 진공 구역을 지날 때 기체 분자와 충돌하여 이온화되고 전자 이온 쌍을 생성한다.이 이온은 전장의 구동 하에서 운동하고 음극 표면에서 전류를 발생시킨다.
서로 다른 전극 구조와 회로 설계를 사용하여 진공계는 서로 다른 측정 범위와 민감도를 실현할 수 있다.그 중 열음극진공계는 열전자가 발사되는 원리를 이용하여 진공구역에서 전자를 생성하고 전자와 기체분자의 충돌을 통해 기체압력을 계산한다;냉음극진공계는 음극 표면의 기체 흡착과 해흡을 통해 기압을 측정하는데, 그 민감도는 열음극진공계보다 높아 더욱 광범위한 측정 범위에 적용된다.
결론적으로, inficon 진공계는 태양 전지, 마이크로 전자 분야의 재료 연구, 반도체 가공 공장과 항공 제조 공장 등 많은 응용에서 광범위하게 응용된다.서로 다른 진공계는 서로 다른 측정 범위, 부피, 민감도 등의 특징을 가지고 있다.따라서 진공 시간을 선택하고 사용할 때는 실제 상황에 따라 평가하여 적합한 기기를 선택해야 한다.