과산화수소 자체가 가지고 있는 산화환원의 작용으로 인해 살균의 기능을 가지게 되었는데, 특히 혐기성 아포주균에 대한 사멸 효과가 비교적 좋다.과산화수소의 작용원리는 복잡한 화학반응을 통해 고활성을 가진 히드록시를 해리하여 세포막을 파괴하고 지방류, 단백질 및 DNA를 포함한 세포의 성분을 공격하는데 사용된다.'플래시 스팀'을 통해 액체 상태의 과산화수소를 H2O2 마른 안개로 전환하는데, 이 과정은 바로 상온의 상습한 환경에서 효과적으로 진행할 수 있으며, 이를 제습 등 다른 예처리할 필요가 없다.과산화수소 건조 안개는 밀폐된 공간에 균일하게 도입되며, 그 내면은 과산화수소 건조 안개에 완전히 노출되어 약 1μm의 과산화수소막을 형성하여 기거했을 가능성이 있는 미생물의 표면에 부착되며, 미생물 자체는 핵심으로 형성된 미세 응축으로 싸여 신속하게 이 과정에서 사멸된다.

과산화수소멸균기는 주로 다음과 같은 몇가지 특징이 있다.

1. 직접 실온조건에서 소독멸균을 진행할수 있다.

2. 과산화수소 건조 안개 소독 멸균의 주기는 비교적 짧다. 5~7시간밖에 걸리지 않는다. 그러나 증기 소독 멸균의 주기는 8~10시간, 에폭시 가스의 소독 멸균 주기는 12~18시간이 걸린다.

3. 과산화수소 건조 안개를 사용하여 소독하고 멸균하는 것은 조작자에게 위해를 끼치지 않을 것이며, 환경에 오염을 초래하지 않을 것이다. 왜냐하면 그 최종 잔류물은 물과 산소이기 때문이다.

4. 증기멸균은 강실에 큰 압차변화를 일으킨다. 장기간 반복적으로 압력을 받고 진공을 뽑으면 설비의 사용수명을 단축시킬 수 있다. 그러나 과산화수소건조안개멸균을 사용한다. 압력, 온도조건의 개선으로 설비의 운행수명과 수리주기가 연장된다.

5. 만약 장기적으로 증기를 사용하여 소독하고 멸균한다면 습하고 더운 기체는 강체내 표면의 스테인리스강의 둔화막을 비교적 쉽게 파괴할수 있지만 과산화수소건조안개를 사용하여 소독하고 멸균하면 강체내 표면의 스테인리스강 둔화막을 아주 적게 손상시킬수 있다.

6. 이동식 (발바퀴가 있는) 과산화수소건조안개 (VHP) 발생기를 채용하여 여러 대의 설비에 대해 멸균을 배합할 수 있어 설비의 초기 투자 비용을 낮출 수 있다;

7. 필터 HEPA에 대한 투과성이 좋다 (유리 섬유);

8. 다른 물품, 예를 들면 장치, 전기 제품 또는 클린룸 벽판 등에 영향을 주지 않는다.