삼엽로츠 진공펌프 공정 원리 분석

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Jiangyin Elm Vacuum Equipment Co., Ltd

삼엽로츠 진공펌프 공정 원리 분석

날짜:2025-04-21읽기 :0

삼엽로츠 진공펌프 공정 원리 분석

1. 핵심 구조 설계

1, 삼엽회전자 구조

펌프 체내에 180 ° 대칭 분포된 삼엽점개선형 회전자 한 쌍을 배치하고 엽봉과 엽곡의 윤곽은 정밀가공을 거쳐 동적밀봉강실을 형성한다.기어 전동을 통해 역동기 회전을 실현하고 회전자와 펌프 케이스 사이에 0.1-0.8mm의 비접촉 간격을 유지한다.

2, 등용 압축기

회전자 회전 주기 중, 흡기강의 용적이 증가하여 음압 흡입 기체를 형성하고, 배기강의 용적이 축소되어 기체의 압축과 배출을 완성한다.이 과정은 회전자형 선의 챔버 용적에 대한 정확한 제어에 의존하여 기체의 정방향 수송을 실현한다.

2. 가스 수송 절차

1. 숨을 들이마시는 단계

로터가 흡기구 구역으로 회전할 때 강실의 용적이 확장되고 기체가 펌프강 내부로 흡입된다.

2. 압축 단계

기체는 회전자 운동에 따라 동적 챔버 실내에 폐쇄되며, 챔버의 용적이 점차 줄어들기 때문에 등용 압축 효과가 발생하지만, 전통적인 왕복식 압축기의 내부 압축 과정은 없다.

3. 배기 단계

회전자 엽봉이 배기구를 스쳐 지나갈 때 압축기체는 배기단으로 밀려나며 동시에 배기측 고압기체의 부분이 페쇄강실로 반충되여 순간압력이 높아진후 배출시스템으로 된다.

3. 공정특성

1, 미츠하형 라인의 우세

두잎구조에 비해 세잎회전자는 매 회전마다 세차례의 삼투순환을 완성하여 압력맥동폭을 30% 이상 효과적으로 낮추고 운행진동과 소음을 뚜렷이 감소시킨다.

2. 기름이 없는 윤활공예

로터 간 및 로터-펌프 케이스 간극은 정밀 수치 제어 가공 보증을 통해 윤활유의 개입 없이 청정도 요구가 높은 제약, 전자 업계에 적용된다.

3. 재료와 가공 공예

회전자는 고강도 합금강을 사용하여 5축 연동 수치 제어 선반을 통해 성형하고, 표면 경화 처리 (예: 질소 침투 공정) 로 내마모성을 높이며, 형선 오차는 ± 5μm 이내로 제어한다.

4. 보조 시스템 수요

유봉진공펌프, 물고리펌프 등 전급설비를 배치하여 진공기조를 형성하여 자체의 저압축비결함 (일반압축비≤10) 을 극복하고 10⁻¹~10³Pa의 중진공범위를 실현해야 한다.