- 이상적진공 시스템또는 진공 용기는 어떠한 누공도 존재하지 않고 어떠한 누기 현상도 발생하지 않아야 한다.그러나 어떤 진공 시스템이나 진공 용기에서도 새지 않는 현상은 불가능하다.특히 압력이 극히 낮은 상황에서 공기가 새는 현상의 영향이 끊임없이 심해짐에 따라 진공도가 예정된 공예요구에 도달하지 못하는것은 상당히 보편적인 문제이다.이를 위해 진공 시스템이나 진공 용기에 존재하는 공기 누출 부위를 검측하고, 누공의 막힌 구멍을 확정하여 공기 누출 현상을 제거하는 것은 진공 기술자의 중요한 작업이 된다.누기 또는 실루라고도 하는데, 그것은 기체가 진공 시스템의 누공 또는 간격을 통해 측면에서 저압 측으로 흐르는 현상을 말한다.진공 누출 검사 기술에서 자주 사용하는 기본 개념은 주로 다음과 같은 각 점이 있다.
① 허루는 실루에 비해 물리적인 현상이다.이것은 대부분 재료의 방기, 해흡, 응체 또는 시스템 메모리가 죽은 공간에서 기체의 유출 등으로 인해 진공 시스템이나 용기의 압력이 높아지는 현상이며, 진공 누출 검사 작업 시 누출의 영향을 제거해야 한다.
② 기밀성 - 진공 시스템이나 용기의 벽이 공기에 침투할 수 없는 정도를 나타내는 성능이다.
③ 누공 - 누공은 진공기가 존재하는 모양이 일정하지 않고 극히 미소한 구멍이나 간진을 말한다.이런 작은 구멍이나 간격보다 크면 진공 시스템이나 용기에 들어간다.
④ 누수율 - 누수율 즉 공기 누수율.그것은 단위 시간 내에 구멍이나 간격을 통해 진공 시스템이나 용기 안으로 사람을 흘려보내는 가스의 양을 말한다.
⑤ Zui 작은 누출률 이것은 어떤 누출 검사 방법이나 기구를 사용하여 검출할 수 있는 Zui 작은 누출률을 말한다.
⑥ 누출 감지 민감도 또는 유효 감지, 즉 누출 감지 기기가 * 작업 상태에서 검출할 수 있는 zui 소누출률.
⑦ 반응시간은 응답시간이라고도 하는데 누출검사방법부터 실시(예를 들어 누출가스를 분사하기 시작)하여 지시방법이나 기기의 지시값이 그 zui의 큰 값의 63%까지 상승할 때 필요한 시간을 말한다.
⑧ 제거시간이란 누출검사방법의 정지(예를 들어 가스누출시험의 분출을 중지함)로부터 지시방법이나 기기의 지시값이 정지값의 37%로 떨어질 때까지의 시간을 말한다.
⑨ 누공 막힘 현상은 먼지나 액체로 인한 누공 막힘을 가리키는데, 이러한 막힘은 종종 누출 검사 작업이 잘못 밀쳐서 발생하는 일시적인 현상을 가리키며, 누출 검사 시 공기가 새지 않는 것 같지만, 배기가 되면 또 공기가 새는 현상이 나타난다.