건식 나사 진공 펌프의 작업 원리
건식 진공 펌프 기술, 특히 가변 피치 화학 건식 펌프는 다양한 주요 응용 프로그램에서 측정 가능한 이점을 제공합니다.올바르게 설계된 건식 스크류 진공 펌프는 안전하고 신뢰할 수 있으며 경제적인 솔루션을 통해 가공 요구를 충족시킬 수 있습니다.
건식 나사 진공 펌프는 물이나 기름이 필요 없이 진공 레벨에서 밀봉하거나 윤활할 수 있다.따라서 이러한 건식 진공 시스템은 폐수의 발생, 오염 및 높은 처리 비용을 방지합니다.
건식 나사 진공 펌프의 운행
• 건식 스크류 진공 펌프는 평행, 비접촉 나선형 헬리컬 로터 (1) 및 (그림 1) 두 개로 구성되어 있으며 정밀 기어 (3) 를 통해 고속으로 동시에 회전합니다.그들은 반대 방향으로 회전하여 흡입구 (5) 에서 일정량의 기체를 포집하여 배기구 (6) 로 수송하고 배기통로 (7) 로 들어간다.실린더 (9) 벽과 서로 맞물리는 나사의 특수한 형태는 기체를 수송하는 압축실 또는 강실 (4) 을 형성한다.
•스크루와 실린더 사이의 작은 간격, 그리고 서로 맞물리는 나사 사이의 작은 간격은 나사 챔버에서 발생하는 가스가 앞으로 흐르는 것보다 공기 흡입구로의 역방향 누출량이 적다는 것을 보장한다.
•밀봉된 경계의 길이 (즉, 스파이럴 수와 긴밀한 간격) 는 펌프 가스 역류를 방지합니다.밸브 또는 포트의 출구 밸브 역할을 하는 밸브 장착 펌프최초노출되면 가스가 약간 역팽창하여 스크류 속으로 들어갑니다.나사의 작용으로 포획된 기체의 양은 점차 0으로 줄어들기 때문에 신속하게 배출할 수 있다.
•가스의 역방향 흐름은 주로 스크류 프로파일 끝에 있는 밀봉 영역의 너비로 제어됩니다.이러한 넓은 영역은 고정자와 밀접하게 인접하여 가스의 역방향 누출을 감소시킵니다.최소. 스크류 펌프의 극한 압력은 0.01 torr(0.01 mBar)보다 작을 수 있습니다.
•가변 피치 모델에서는 피치의 변화에 따라 가스가 압축되어 펌프가 배기하기 전에 추가 압축이 제공됩니다.이렇게 하면 회전자의 전체 길이에 열 부하가 균일하게 분포됩니다.단일 피치 모델에서는 마지막 절반 바퀴에 압축판이나 밸브를 받쳐 더 큰 압축을 실현하여 열의 발생을 배기구에 치우친다.건식 펌프에서는 전체 응축을 피하기 위해 온도가 충분히 높아야 하며, 동시에 자연 발화와 중합을 피하기 위해 충분히 낮아야 한다.가변 피치 펌프에서 배기구를 향해 점점 높아지는 가스 온도는 펌프에서 보내는 증기가 응결되는 것을 방지하는 데 크게 도움이 된다.가변 피치 스크류 펌프도 단일 피치 스크류 펌프보다 동력을 더 효과적으로 활용합니다.
•주변 커버(8)를 통해 냉각합니다.펌프를 직접 또는 간접적으로 폐쇄 루프 냉각으로 구성할 수 있습니다.후자는 장치의 냉각수가 펌프의 재료와 직접 접촉하지 않고 냉각수의 질이 나빠 커버가 쌓이거나 부식되지 않는다는 것을 의미하기 때문에 많은 장점이 있습니다.
•에어 타운 포트 (10).만약 필요하다면 기진은 랭펌프나 건조습펌프를 재빨리 가열하고 인화성증기를 그 인화성범위에서 배제하는데 도움을 줄수 있으며 펌프에서 고체를 제거하는데 도움이 되며 특히 용제를 씻는 기간에 더욱 도움이 된다.