웨이퍼는 반도체와 칩의 기본 재료이기 때문에 웨이퍼 생산은 반도체와 칩 생산에 직접적인 영향을 미친다.그러나 실제 웨이퍼를 생산하는 과정에서 제조 난이도가 높고 절차가 복잡할 뿐만 아니라 생산 과정은 대량의 공업 폐수와 함께 발생한다.그렇다면 웨이퍼 제조 공장은 산업 폐수 문제를 어떻게 해결했습니까?

웨이퍼 폐수

웨이퍼 제조 과정 중에는 산성 알칼리 폐수, 암모니아 폐수, 불소 폐수, 연마 폐수, 구리 폐수, 유기 폐수 등 공업 폐수가 있을 수 있으며, 서로 다른 생산 공정으로 인해 서로 다른 유형의 공업 폐수가 발생한다.그리고 이런 폐수는 주로 관련된 오염물도 다르고 사용하는 폐수 처리 공정도 다르다.따라서 동일한 하수처리소를 일괄적으로 채택하여 처리할 수 없으며, 서로 다른 폐수 유형에 따라 분질 분류 처리를 해야 한다.

연마는 반도체 작업 집적회로판 제조 과정 중 웨이퍼 전체 평탄화의 핵심 기술로, 웨이퍼 연마 후의 후속 과정 중 초순수를 이용하여 이를 세척하여 많은 연마 폐수를 발생시킨다. 이런 폐수에는 고농도 각종 상황으로 존재하는 미세한 연마 규소 함유 입자, 화학 약제, 초순수 및 금속 이온 물질이 함유되어 있다.이 반도체의 폐수 연마의 위해성은 명백하다.

오늘날 수원오염의 파손상황이 날로 심해지는 상황에서 에너지절약과 오염물방출감소의 요구에 따라 어떻게 이런 페수의 수질을 리용하여 충분히 합리적이고 유용한 깊이있는 재사용을 진행할것인가 하는것은 수자원의 결핍을 완화시키는것이 비교적 시급한 과제로 되였다.반도체에서 폐수를 연마하여 다시 사용하는 처리 방법은 매우 많은데, 반도체 폐수 처리 기술의 응용과 발전으로 인해 그 공정이 끊임없이 개선되고, 공정이 더욱 치밀하며, 처리 효율이 향상되었다.

라이트레이드 폐수 재활용 설비는 총 회수율이 75% 보다 크고, 폐수는 폐수 재활용 설비를 통해 재활용되기 때문에 폐수 배출 비용을 75% 이상 절약할 수 있다.시스템은 특수막분리신기술을 채용하여 공예가 간단하고 운행이 안정적이고 믿음직하며 처리효률이 높다.폐수재활용설비는 제한된 수자원을 효과적으로 절약하여 수자원에 대한 소모를 경감시키고 날로 두드러지는 용수긴장모순을 완화시킬수 있을뿐만아니라 오수의 배출을 줄이고 주위의 수체에 대한 오염을 경감시켜 인류의 거주환경을 개선할수 있다.