분자 펌프고속으로 회전하는 로터를 리용하여 동량을 기체분자에게 전송하여 정향속도를 얻게 함으로써 압축되여 배기구로 쫓겨난후 전급으로 뽑아내는 진공펌프이다.이 펌프는 구체적으로 다음과 같이 나눌 수 있습니다.
1.견인 분자 펌프 가스 분자는 고속으로 움직이는 회전자와 충돌하여 동량을 얻어 펌프의 출구로 쫓겨난다.
2.터빈 분자 펌프는 고속으로 회전하는 동엽편과 정지된 정엽편이 서로 배합하여 공기를 뽑는 것을 실현한다.이 펌프는 일반적으로 분자 흐름 상태에서 작동합니다.
3.복합분자펌프는 터빈식과 견인식 두 종류의 분자펌프를 직렬로 조합한 복합형의 분자진공펌프이다.
복합식 분자 펌프터빈 분자 펌프와 견인 분자 펌프의 직렬 조합으로 두 펌프의 장점을 하나로 모았다.펌프는 매우 넓은 압력 범위 내 (10-6~1Pa) 에서 비교적 큰 추출 속도와 비교적 높은 압축비를 가지고 있어 펌프의 수출 압력을 크게 향상시켰다.복합식 분자펌프의 형식은 매우 많은데, 구조에 따라 나누면 주로 두 가지가 있다: 하나는 터빈 날개와 디스크 견인펌프의 직렬 조합이다;다른 하나는 터빈 날개와 통식 견인펌프의 직렬 조합입니다.다음과 같습니다.
1. 터빈급주로 펌프의 추출 속도를 높이는 데 사용되며, 일반적으로 추출 속도를 높이는 데 유리한 날개 모양을 사용하며, 급수는 l0급 이내이다.견인급은 주로 펌프의 압축비를 증가시키고 펌프의 수출압력을 높이는 데 쓰인다.
2. 디스크 견인 레벨평면 원반 평면에 일정한 규칙에 따라 몇 개의 형선 도랑을 연 다음 몇 개의 원반을 연결하여 구성하는 것으로, 형선은 아키미드 나사, 대수 나사, 원호선 등이 있다.공기를 뽑을 때 고속으로 돌아가는 원반에 의해 기체분자를"드래그"하여 도랑을 따라 내향외 및 외향내의 왕복으로 되돌아가는 정향류동으로 함으로써 공기를 뽑는 목적을 달성하게 한다.