클린룸 압차 제어의 핵심은 압력 경도를 통해 기류 방향을 유도하고 동적 풍량 조절과 물리적 격리 구조를 결합하여 오염물의 물리적 장벽을 실현하는 것이다.박태소편은 모두를 데리고 관련 지식을 이해한다.

1. 기본원리

1. 기류 방향 제어

압차를 이용하여 기류가 고청정 구역에서 저청정 구역 또는 오염 통제 구역으로 흐르도록 유도한다.고청정도 생산구역의 압력은 보조구역보다 높으며, 기류 방향은 생산구역에서 보조구역으로 흐르고, 다시 배풍 시스템을 통해 배출된다.

2. 정압차 유지

클린룸은 인접 공간과의 정압차를 제어함으로써 단방향 기류 장벽을 형성한다.정압청정실은 송풍량이 환풍량과 배풍량보다 많아 외부 오염물의 침입을 방지한다.음압청정실은 송풍량보다 배풍량이 많아 내부 유해물질이 유출되지 않도록 한다.

2. 관건적인 통제방법

1. 송풍, 회풍과 배풍의 균형

에어컨 시스템의 송풍량, 환풍구 개폐도 및 배풍밸브 개폐도를 조절하여 동적 균형 풍량 차이를 조절한다.

2. 등급별 압차 설정

같은 청정구역은 복도를 기준으로 각 방의 압력치 계단이 분포되어 있다.서로 다른 청정 등급 구역은 인접 구역의 압차≥5Pa이다. 만약 만 등급 청정 구역은 10만 등급 구역보다 5Pa 이상 높아야 하고, 백 등급 구역은 더 높아야 한다.

3. 구조 보조 설계

완충간과 에어게이트실은 서로 문을 잠그는 구조를 채택하여 문을 열 때 기류의 간섭을 줄인다.음압 가스 수문실은 서로 다른 청정 구역을 격리할 수 있다.여압밸브 또는 차압센서는 자동으로 여압밸브의 개폐도를 조절하거나 신풍/배풍밸브를 연동하여 실시간으로 압차파동을 보상한다.

3. 특수 장면 응용

1. 습도 차이 제어

건조하고 깨끗한 방은 정압을 유지하여 인접한 고습 지역의 습한 공기가 유입되지 않도록 해야 한다.

2. 음압 제어

유독가스, 고알레르기성 약물이 발생하는 클린룸에는 음압을 유지해 오염물 확산을 방지해야 한다.

4. 동적 모니터링과 조정

압차 센서를 통해 실시간으로 데이터를 모니터링하고, 자동 제어 시스템과 결합하여 윈드 밸브, 송풍기 주파수 등 매개변수를 조정하여 설비의 작동과 정지, 환경 변화로 인한 압차 파동에 대응한다.