층류 초순수 작업대의 고효율 필터가 DOP에 들어가 누출을 검사하는 목적

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날짜:2025-03-13읽기 :5

1. 층류 초정화 작업대 정화 효과 및 설치 교체:

고효율 필터와 그 설치에 결함이 있을 경우, 예를 들어 필터 자체에 작은 구멍이 있거나 설치가 엄밀하지 않아 미세한 균열이 형성되면 예정된 정화 효과에 도달하지 못할 수 있다.따라서 고효율 필터를 설치하거나 교체한 후에는 필터와 설치 연결부에 누수를 점검해야 한다.

2. 누락 검사 목적

고효율 필터의 누출량을 테스트하여 고효율 필터와 그 설치의 결함을 발견하여 보완 조치를 취할 수 있도록 한다.

초순수 작업대

3. 누락 검사 범위

청정 구역, 층류 초정화 작업대 및 설비의 고효율 필터 등.

4. 누락 검사 방법

흔히 사용하는 것은 DOP법으로 누출을 검사한다 (즉 DOP용제를 먼지원으로 하고 에어로졸 광도계와 협력하여 누출을 검사한다). 또한 먼지입자계수기 스캐닝법으로 누출을 검사한다 (즉 대기먼지를 먼지원으로 하고 입자계수기와 협력하여 누출을 검사한다).입자 카운터의 판독이 누적 판독이기 때문에 스캔에 불리하고 순찰 속도가 느리다;또한, 측정된 고효율 필터의 바람 측면에서는 왕왕 대기 먼지 농도가 비교적 낮아 발연을 보충해야 누출을 쉽게 발견할 수 있는데, 입자 계수기법으로 누출을 검사하는 이러한 부족한 DOP법은 바로 보완할 수 있기 때문에 국외에서는 DOP법으로 누출을 검사하는 것을 광범위하게 사용한다.

5. DOP법 누락 검사

5.1. 작동 원리

고효율 필터가 검출된 상풍측발 DOP 에어로졸은 먼지원(DOP 즉 프탈레이트 디메틸 디메틸 에스테르, 분자량 390.57, 분무 후 입자는 구 모양)으로 하풍측에서 광도계로 샘플링하여 채취한 공기 샘플은 광도계의 확산실을 통과하고 먼지가 광도계를 거쳐 발생하는 산란광전효과와 선형 증폭에서 전기량계로 전환되며 미암페어의 농도는 상대적으로 빠르게 측정된다.DOP 시험은 실제로 고효율 필터의 투과율을 측정했다.

초순수 작업대

5.2.재료 및 기기

① 먼지 공급원(DOP 용매);

② DOP 발생기 [연기를 발생시키는 장치를 위하여 DOP 용매가 발생기 용기에 부은 후, 일정한 압력 또는 가열 조건에서 에어로졸 연기가 발생하여 고효율 필터 상풍측으로 보내진다(DOP 액체를 가열하여 DOP 증기를 형성하고, 증기는 특정 조건에서 미소한 액체로 응축되어 너무 크고 작은 액체를 제거하고, 0.3μm 정도의 입자만 남기며, 안개 모양의 DOP는 바람길로 들어간다.]

③ 에어로졸 광도계(에어로졸 농도를 측정하고 표시하는 기구는 검사 유효기간을 밝혀야 하며, 반드시 검사에 합격하고 유효기간 내에 있어야 사용할 수 있다).

④ 질소;

⑤ 에폭시 수지 실리콘;

⑥ 필요한 예비 모델 고효율 필터

5.3. 누락 검사 시험 작업 절차

5.3.1.누락 검사 준비

누수 검사에 필요한 기자재와 검사 대기 구역의 정화 에어컨 시스템 송풍관 통로 평면 배치도를 준비하고, 정화 에어컨 설비 회사에 누수 검사 당일 현장에 도착하여 접착제 및 고효율 필터 교체 등 조작을 진행하도록 통지한다.

5.3.2 누락 검사 작업

① 에어로졸 발생기에 있는 DOP 용제의 액위가 저액위보다 높은지, 부족하면 첨가해야 한다.

② 질소병과 에어로졸 발생기를 연결하여 에어로졸 발생기의 온도 스위치를 켜고 빨간불이 파란불로 바뀌면 온도(약 390~420℃)를 나타낸다.

③ 시험호스의 한쪽 끝을 에어로졸 광도계의 상류 농도 시험구에 놓고 다른 한쪽 끝은 고효율 필터가 검출된 입풍 측 (상류 측) 에 둔다. [시스템 누수 검사는 DOP 연기를 직접 에어컨에 넣을 수 있다 (에어컨 내 필터에 흡착되지 않도록 주의한다).만약 DOP 발생기가 작고 규정된 농도에 도달하지 못한다면, 고효율 필터가 측정된 정압 상자에 넣을 수 있고, 층류 작업대는 직접 송풍기 흡입구]에 넣을 수 있으며, 광도계 스위치를 켜고 테스트 값을"100"으로 조절할 수 있다.

④질소 스위치를 켜고 압력을 0.05~0.15Mpa로 제어하며 에어로졸 발생기의 오일 밸브를 천천히 열고 광도계의 테스트 값을 10~20로 제어하며 테스트 값이 안정된 후 이 상류에서 측정된 농도를 입력하면 후속 스캐닝 순찰 작업을 진행할 수 있다.

⑤ 테스트 호스의 한쪽 끝을 에어로졸 광도계의 하류 농도 측정구에서 다른 쪽 끝, 즉 샘플링 헤드로 필터의 송풍 측면과 지지대를 스캔한다. 샘플링 헤드는 필터에서 약 3~5cm 떨어져 필터 안의 테두리 등을 따라 왔다갔다하며 순검 속도는 5cm/s 이하이다. 테스트 범위는 필터의 필터, 필터와 그 프레임 내부의 연결, 필터 프레임의 밀봉 패드와 필터 프레임의 밀봉 프레임 사이의 밀봉 프레임, 밀봉 프레임 사이의 밀봉 프레임, 밀봉 프레임의 밀봉 프레임 사이의 밀봉 프레임 사이의 밀봉 및 밀봉

층류 초정화 작업대

⑥ 포토메트릭의 계기 표시값은 고효율 필터의 투과율입니다.고효율 필터의 효율이 수용 가능한 기준 이하일 때, 즉 에폭시 수지 실리콘으로 누출을 막거나 볼트를 단단히 고정 (필요할 때 고효율 필터를 교체하기 위해 발연을 일시 중단) 한 후 계기 지시치가 수용 가능한 범위 내에 있을 때까지 스캔 순찰을 진행한다.

⑦ 누출검사는 제때에 기록을 작성하고 에폭시수지 실리콘으로 누출을 막는 응용약도로 누출점을 표시해야 한다.

5.3.3 허용 가능한 기준

100000레벨 청정구역 고효율 필터의 효율은 >95% (에어로졸 광도계 계기 지시치가 5 미만이어야 함);

10000 레벨 청정 영역 고효율 필터의 효율은 > 99.97% (즉, 에어로졸 광도계 계기 표시치가 0.03보다 작음) 여야 한다.

6. 설명

6.1. 고효율 필터 설치 또는 교체 후 DOP 누수 검사를 해야 한다.10000급 이상 청정구역 고효율 필터의 일상 누수 검사는 일반적으로 매년 1회 (무균구역은 반년에 1회 적합);청정구역 일상감시통제에서 먼지립자수, 침강균, 풍속 등에 뚜렷한 이상이 생겼을 때도 루출을 검사해야 한다.

6.2. 먼지의 원천인 DOP에는 벤젠 고리가 함유되어 있는데, 먼지의 원천은 다르지만 누출을 검사하는 원리와 방법은 같다.

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