저압 방전법 누출 검사기의 원리 및 응용 분야

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Shanghai Qiyi Instrument Equipment Co., Ltd

날짜:2025-05-19읽기 :3

저압방전법 누출검사기는 가스 방전 특성을 기반으로 누출을 감지하는 장비로, 저기압 환경에서 가스 방전 현상의 변화를 모니터링해 피측 시스템의 밀봉성을 판단하는 것이 핵심 원리다.구체적인 원리는 다음과 같은 단계로 나눌 수 있다.

1. 기체이온화와 방전: 밀폐강체에 고압전장을 가하여 기압이 일정한 범위로 낮아지면 잔여기체분자가 이온화에 의해 휘광방전 또는 코로나방전이 발생하여 측정할수 있는 전류 또는 광신호를 형성한다.

2. 누출 기체 간섭: 만약 측정 시스템에 누출이 존재한다면 외부 기체가 강체에 침투하여 내부 기체의 성분이나 압력을 변화시켜 방전 특성 (예를 들면 전압 뚫기, 방전 전류 강도 또는 스펙트럼 특징) 에 현저한 변화를 초래할 수 있다.

3. 신호 분석과 포지셔닝: 센서를 통해 방전 파라미터의 이상 변화 (예를 들어 전압 파동, 전류 급증 또는 특정 파장 광의 강도 변화) 를 포획하고, 회로 또는 알고리즘 처리와 결합하여 누출 위치와 정도를 확정한다.

‌저압 방전법 누출 검사기 주요다음 영역에 적용:

1. 진공 설비 검측: 반도체 제조, 진공 도금 등 업종의 챔버, 파이프 밀봉성 검측에 사용되어 고진공 환경 안정성을 확보한다.

2. 냉방 시스템 누출 검사: 에어컨, 냉장고 등 냉매 순환 시스템 중의 미세한 누출을 검측하여 냉매 유실로 인한 효율 저하를 피한다.

3. 폐쇄용기 품질검사: 의료, 화학공업 분야에서 가스통, 밀폐용기에 결함이 있는지 검사하여 저장안전성을 보장한다.

4. 과학연구실험감측: 고에너지물리, 우주비행시뮬레이션 등 정밀실험장치에 응용하여 환경기체가 실험결과를 교란하는것을 방지한다.

이 방법의 장점은 민감도(10⁻Pa·m/s급까지 감지 가능)가 높고 응답 속도가 빠르지만 가스 종류에 대한 선택성이 떨어지고 저기압 환경에서 조작해야 해 적용 장면이 제한된다는 점이다.