기체용 질량유량계의 작업 원리와 특징

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샤로덴공업과학기술(상해)주식유한회사

날짜:2025-06-17읽기 :0

가스 품질 유량계는 온도 및 압력 보상 없이 가스의 품질 유량을 직접 측정하며 핵심 작동 원리 및 응용 분야는 다음과 같습니다.

1. 작업원리

1. 열식 원리

항온차법: 센서는 두 개의 백금 열 저항을 포함하며, 하나는 일정한 온도차 (속도 센서) 로 가열하고, 다른 하나는 가스 온도를 측정한다.기체가 흐를 때 열량을 가져가고 온도차를 유지하는데 필요한 전류증가량은 질량류량과 정비례한다.

항공률법: 가열공률을 일정하게 유지하고 온도차를 측정하여 기체의 정압비열용량과 결합하여 품질유량을 계산한다.

적용성: 저유속, 소관경 장면 (예: 반도체 제조, 실험실 마이크로 트래픽 검사) 에 적합하다.

2. 코리올리의 원리

기체가 고주파 진동의 측정관을 통과할 때 크리올리력이 발생하여 파이프의 위상이 오프셋되고 오프셋량은 질량 유량과 정비례한다.

우세: 정밀도가 높고 기체의 물성 (밀도, 점도) 의 영향을 받지 않는다.

한계: 원가가 비교적 높고 부피가 비교적 크며 고정밀도 수요 장면에 적용된다.

2. 응용분야

1. 공업 과정 통제

에너지와 화학공업: 천연가스 무역 결산, 화학공장 반응 가스 배합 비율, 암모니아 가스 유량 모니터링.

야금과 전력: 용광로 가스 계량, 보일러 가스/공기 송풍 제어.

2. 고정밀도와 특수 장면

반도체 제조: 식각 가스, 퇴적 가스 등 공정 가스의 정확한 제어.

환경보호 모니터링: 연도 가스 배출 계량, 메탄가스 회수 이용.

실험실 연구 개발: 마이크로 유량 가스 실험, 유체 동력학 연구.

3. 공용시설 관리

가스 분배 계량, 파이프 가스 누출 검측, 수처리 중 가스 투하 제어.

3. 핵심우세

1. 직접 출력 품질 유량: 부피 유량계에 필요한 밀도 환산과 온압 보상을 피한다.

2. 높은 적응성: 부식성 기체, 혼합 기체 및 작업 상황 파동의 복잡한 환경에 적용된다.

3. 광량정비: 일부 열식류량계는 저속으로부터 고속까지의 류량범위를 망라할수 있다.

4. 모델 선택의 관건

1. 기체 특성: 청결도, 부식성, 비열용.

2. 작업 상황 파라미터: 파이프 지름 크기, 유량 범위, 온도/압력 한계.

힌트: 부식성 기체 또는 광온압 파동 장면에서 열식 유량계는 기체에 따라 교정해야 하며, 코리올리 유량계는 고정밀 무역 결산에 더욱 적합하다.