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클린룸 체크-고효율 필터 체크(냉발연)
날짜:2022-11-09읽기 :3

클린룸 체크 - 고효율 필터 체크(냉발연) 단계

①측정 대상 시설의 바깥쪽은 공기 기원을 압축할 준비를 하고 에어로졸 발생기(냉발)를 고효율 필터가 적용된 업스트림 흡입구로 연결한다.압축 공기 입력 압력은4개의 kg/cm3의 상태, 정상적으로 송풍기를 켜서, 송풍과 혼합된 에어로졸이 측정된 시설 내의 고효율 필터 상류에 진입하여 일정 기간 안정되게 한다.에어로졸 확보(PAO는) 이 고효율 필터의 업스트림에 균일하게 분포됩니다.

② 에어로졸 열기(PAO는) 광도계, 안정된 에어로졸을 얻을 때까지 (PAO는) 업스트림 농도 값 설정100% 업스트림 농도 기준;에어로졸(PAO는) 업스트림 농도20 μg/L。

③ 에어로졸 사용(PAO는) 광도계는 피측시설 내 고효율 필터 하류에서 누출 농도를 측정하며, 측정지점은 피측시설 내 고효율 필터의 모든 단면 및 밀폐재료의 연결부에 분포한다.전체 필터 면, 필터와 테두리 사이, 테두리와 테두리 사이, 테두리와 정압 상자 사이의 밀폐된 부분을 스캔합니다. 스캔 시 샘플링 헤드 간격 필터 면약1인치 (약2.54 cm), 스캔 속도 초과 없음5 cm/s. 스윕은 선을 따라 반복적으로 진행되며 선 사이에 겹쳐야 합니다.테스트 데이터를 읽습니다.

④ 테스트 값은 최종 누출 농도 (%) 인 고효율 필터 무결성 테스트 결과로 큰 값을 취합니다.