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클린룸 체크-고효율 필터 체크(열발연)
날짜:2022-11-01읽기 :5

고효율 필터 검사(냉발연) 절차

1, 측정된 시설의 바깥쪽에 질소 강철병을 준비하여 사용하기 전에,미리 담뱃기름을 주입해야 한다.(또는 기내 용기에 미리 비축되어 있다PAO는에어로졸).그리고 공연이 시작되기 전에 연무 발생기에 전기를 공급해 예열해야 한다.예열 시간은 반드시 규범화되어야 한다.10분 이상;예열 시간이 부족하면 스프레이를 켜는 것은 좋지 않다.또한 에어로졸 발생기 (열발) 를 측정된 고효율 필터의 업스트림 흡입구와 연결한다.질소가 에어로졸 발생기(열발)에 입력되는 압력이4개의 kg/cm3의 상태, 가열 에어로졸(PAO는) 까지385~400℃ 및 안정, 정상적으로 송풍기를 켜서 송풍과 섞인 에어로졸이 측정된 시설 내의 고효율 필터 상류에 진입하여 일정 기간 안정되게 한다.에어로졸 확보(PAO는) 이 고효율 필터의 업스트림에 균일하게 분포됩니다.

2, 에어로졸 열기(PAO는) 광도계, 안정된 에어로졸을 얻을 때까지 (PAO는) 업스트림 농도 값 설정100% 업스트림 농도 기준;에어로졸(PAO는) 업스트림 농도20 μg/L。

3, 에어로졸 사용(PAO는) 광도계는 측정된 시설 내 고효율 필터 하류에서 누출 농도를 측정하고, 측정된 시설 내 고효율 필터의 모든 단면 및 밀봉 재료의 연결부에 분포하며, 전체 필터 면, 필터와 테두리 사이, 테두리와 테두리 사이, 테두리와 정압 상자 사이의 밀봉 부분을 스캔한다.스캔 시 샘플링 헤드 간격 필터 크기1인치 (약2.54 cm), 스캔 속도 초과 없음5 cm/s. 스윕은 선을 따라 반복적으로 진행되며 선 사이에 겹쳐야 합니다.테스트 데이터를 읽습니다.

4, 테스트 값은 최종 누출 농도 (%) 인 고효율 필터 무결성 테스트 결과로 큰 값을 취합니다.