쑤저우익강환경검측유한공사

전자공업 청결실 검측 방안

클린룸 검사 항목: 환기 횟수(풍속), 압차, 온도, 습도, 소음, 조도, 청정도(먼지 입자)

고객:***전자 회사

검측 기기 명세서

1, 풍량 또는 풍속 테스트는 다음 규정에 부합해야 합니다.

1 단방향 흐름 청정실의 경우 단면 평균 풍속과 단면 승적 방법으로 송풍량을 확정하고 고효율 여과기에서 분리해야 한다300mm공기 흐름에 수직인 단면은 테스트 평면으로 사용됩니다.테스트 평면을 동일한 격자선으로 나누고 각 격자선 크기는600mm × 600mm또는 끝 공기 필터 크기, 측정 지점이 격자선 중심에 있거나 그 이상이어야 합니다. 3 점.각 지점의 테스트 시간은10초. 평균, 최대, 최소를 기록하고 산술 평균을 평균 풍속으로 삼아야 한다.

2 비단방향 클린룸의 경우 각 지점의 테스트 시간은10초。

3 각 말단 공기 여과기 바람 덮개법 등에서 송풍 풍속을 측정하여 송풍량을 확정하고, 각 테스트 위치의 측정 포인트 수는 적어서는 안 된다 3 점.

2 정압차 테스트는 다음 규정을 준수해야 합니다.

1 정압차의 측정은 모든 문이 닫혔을 때 해야 한다.

2 계기 는 각종 형식 의 미압계 를 사용하는 것 이 좋고, 계기 의 감도 는 작아야 한다1.0파。

3 청정공장 건물에 여러 개의 청정실 (구역) 이 있을 때는 가장 안쪽의 방과 인접한 방의 압차 테스트부터 시작하여 순서에 따라 외부로 검사해야 한다.

4, 방마다 점 하나를 뽑아 테스트

3. 청결도 검사는 다음 규정에 부합해야 한다.

1 보다 큰 샘플링을 사용해야 합니다.1l/분광학 입자 계수기는 입경 감별 능력, 입자 농도 적용 범위와 계수 효율 등의 요구에 따라 기기를 선택해야 한다.계기는 유효한 검정 합격 증서가 있어야 한다.

2 최소 샘플링 지점은 다음과 같이 계산해야 합니다.

NL=√A식중 ——최소 샘플링 지점;

(A) -클린룸 또는 제어된 클린 영역의 면적 (m²）。

샘플링 지점은 클린룸 (구역) 전체 면적에 균일하게 분포하고 작업공간 높이에 있어야 합니다.

3 각 샘플링 지점의 각 샘플링 양은 다음과 같은 방식으로 결정됩니다.

VS=[20/C의n, m]예100

식중 VS -각 샘플링 지점의 각 샘플링 양은L표시하다VS크면 순차 샘플링을 사용할 수 있습니다.각 샘플링 지점의 최소 샘플링 시간은 다음과 같습니다.1분, 최소 샘플링2L；

Cn, m——측정된 클린룸 공기 청정도 등급의 측정된 입자 지름의 제한값 (p/m³）；

20 ——피측정 입경 입자의 공기 청정도 등급 제한치를 규정할 때 측정할 수 있는 입자 개수 (개).

각 급 클린룸 단일 샘플링 포인트 샘플링 계산 결과

1. 100 레벨 클린룸 (예: 1 작업장,2/3실험실)

˜≥0.5μm입자 샘플링 양：

· VS=[20/C의n, m]예100=[20/3520] 예100=0.568L

· 결과 계산 (0.568L）＜2L, 필수 요구 사항에 따라2L。

˜≥5μm입자 샘플링 양：

· VS=[20/C의n, m]예100=[20/29] 예100=68.97L

• 실제 실행 기준: 100 레벨 클린룸 단일 샘플링 지점은≥68.97L샘플링 (두 가지 입경 모두 고려), 사용100L/분카운터, 샘플링 시간1분

2. 천 레벨 클린룸 (예: 5 작업장)

˜≥0.5μm입자 샘플링 양：

· VS=[20/C의n, m]예100=[20/35200] 예100=0.0568L

· 결과 계산 (0.0568L）＜2L, 필수 요구 사항에 따라2L。

˜≥5μm입자 샘플링 양：

· VS=[20/C의n, m]예100=[20/293] 예100=6.83L

• 실제 실행 기준: 100 레벨 클린룸 단일 샘플링 지점은≥68.97L샘플링 (두 가지 입경 모두 고려), 사용100L/분카운터, 샘플링 시간1분

3.만급 클린룸

˜≥0.5μm입자 샘플링 양：

· VS=[20/C의n, m]예100=[20/352000] 예100=0.00568L

· 결과 계산 (0.00568L）＜2L, 필수 요구 사항에 따라2L。

˜≥5μm입자 샘플링 양：

· VS=[20/C의n, m]예100=[20/2930] 예100=0.683L

• 실제 실행 기준: 만 레벨 클린룸 단일 샘플링 지점 통합≥2L샘플링, 데이터 카운터 사용 시 샘플링 시간≥1분(예:100L/분카운터 샘플링 테스트1분)

4, 샘플링 횟수

샘플링 지점은 적으면 안 된다2개, 총 샘플링 횟수 이상5차

4, 온도, 상대 습도 측정은 다음 규정을 준수해야 합니다.

1 온도, 상대습도 측정은 클린룸 (구) 내 기류 분포가 균일한 상태에서 테스트하고 정화 에어컨 시스템 시운전에 합격한 후 배정하여 진행해야 한다.온도 습도 측정은 정화 에어컨 시스템이 작동하고 적어도 안정적으로 작동 한 후에 수행되어야합니다.

2 상대 습도 측정은 클린 작업공간을 동일 면적 메쉬로 구분하고 각 칸의 최대 면적은100m², 각 칸마다 측정 지점이 있어야 하지만, 각 방은 적어서는 안 된다 2 개의 측정 지점.

3 검측용 탐지기는 클린룸 (구역) 내의 작업 높이에 설치해야 하며, 클린룸 (구역) 의 천장, 벽, 지면보다 적어서는 안 된다300mm. 또한 클린룸 (구역) 내에 존재할 수 있는 열원의 영향을 고려해야 한다.

4 최소 테스트 시간1.0시간적어도6분진행 1 보조 (30년대) 읽기, 기록.

5.조도 테스트는 다음 규정에 부합해야 한다.

1 클린룸 (구역) 내의 조도 검사는 휴대용 자동 기록 조도계를 사용하는 것이 좋다.

2 조도 측정은 실내 온도가 안정되고 광원 광출력이 안정된 후에 해야 한다.클린룸 (구역) 조도 검사에는 생산 설비 등의 국부 조명과 예비 조명이 포함되어서는 안 된다.

3 조도 검측 지점은 작업 고도에 설치해야 하며, 지면에서 떨어져 있어야 한다.0.85 미터응당25m²측정점을 설정하다.

6, 노이즈 감지

E.6.1일반적으로 테스트만 가능A사운드 레벨 노이즈, 필요한 경우 중심 주파수에 따라 배율 대역 주파수 분석기를 사용할 수 있음 63、125、250、500、1000、2000、4000、8000Hz의의 배 주파수 측정, 측정 지점 근처1m안에는 반사물이 없어야 한다.음향계의 최소 눈금은0.2dB（A）。

E.6.2측점 거리 지면 높이1.1 미터. 면적은15m²아래의 청결실은 실 중심만 측정할 수 있다 1 점,15m²이상의 클린룸 제거 센터 1 점 밖 에서는 대각 을 재측정해야 한다 4 점, 측면 벽에서 각각1m, 측정 점이 각 각도를 향합니다.

E.6.3혼합 흐름 클린룸인 경우 단방향 흐름 영역, 비단방향 흐름 영역의 소음을 각각 측정해야 합니다.

E.6.4조건이 있을 때, 에어컨 정화 시스템이 작동을 멈춘 후의 본바닥 소음을 측정하는 것이 좋으며, 실내 소음과 본바닥 소음의 차이는 작다10dB（A) 에서는 측정 지점 값을 수정해야 합니다. 차이점 (6～9）dB（A) 시 감소1dB（A), 차이 (4～5）dB（A) 시 감소2dB（A), 차이3dB（A) 시 감소3dB, 보다 작은 차이3dB（A) 에서 잘못된 값을 측정했습니다.

7, 판정 기준