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Suzhou Yitai Environmental Technology Co., Ltd
10급 클린룸 클린 등급 측정 방법, 절차, 기준, 그리고 주의사항
날짜:2025-08-25읽기 :4
1. 검측 방법
10급 클린룸 (ISO Class 4급에 대응) 은 청정도 요구가 매우 높은 통제 환경으로서 그 검측 방법 체계가 엄밀하고 복잡하며, 전문화된 검측 수단과 정밀 기기를 채택해야 한다. 예를 들면 쑤저우 혁태환경과학기술유한공사 산하의 etiedt 혁태정과 브랜드 LPC-8110형 먼지 입자 카운터, 샘플링 유량 28.3L/MIN, 동시에 8개의 입경 통로를 검측한다.
부유 입자 농도 검사:
입자 카운터법: 광산란 원리의 입자 카운터를 핵심 검사 장비로 사용하며, 이 장비는 입경 감별 능력 (0.1 μm~5.0 μm의 입자를 구분할 수 있음), 광범위한 농도 적용 범위 및 표준 요구에 부합하는 계수 효율을 갖추어야 한다.검측 전에 반드시 측정 기구가 유효한 표준 합격 증서를 소지하고 있는지 확인하여 측정 결과의 정확성을 확보해야 한다.
샘플링 요구: 각 샘플링 지점의 최소 샘플링량은 0.3리터 이상이어야 하며, 실제 샘플링량은 공식 VS = (20/Cn·m) × 1000 계산을 통해 확정해야 하며, 그 중 Cn·m는 10급 클린룸의 해당 입경에 대한 농도 제한값 (≥ 0.5μm 입자는 35개/m³ 미만) 이다.샘플링 시간은 일반적으로 1 분 이상이므로 샘플링의 대표성을 보장합니다.
샘플링 지점 배치: ISO 14644-1 및 GB/T 16292-2008 표준 요구에 따라 10급 클린룸은 20개 이상의 샘플링 지점을 배치해야 하며, 측정 지점 간격은 0.5-2.0m 사이로 제어해야 한다.샘플링 지점은 전체 클린룸 작업 구역에 균일하게 분포하고 핵심 공정 구역과 인원 활동 밀집 구역을 중점적으로 포괄해야 한다.샘플링 높이는 일반적으로 작업 평면 높이(0.8-1.2m)로 설정되어 실제 작업 환경의 청결 상태를 반영합니다.
데이터 수집 및 처리: 각 샘플링 지점은 연속적으로 세 번 샘플링하여 평균값을 해당 점의 실측 값으로 가져옵니다.10급 청정실 최종 청정도 등급 판정은 각 측정점의 최대치 (평균치가 아님) 를 채택하여 가장 취약한 부분에 대한 엄격한 요구를 구현한다
2. 테스트 프로세스
10급 클린룸의 검사 절차는 엄격한 논리적 순서와 조작 규범을 준수하여 검사 결과의 신뢰성과 중복성을 확보한다.전체 테스트는 일반적으로 세 단계로 나뉩니다.
2.1 준비 단계
시스템 청소 및 자정: 검사 전에 클린룸 및 정화 에어컨 시스템을 완전히 청소해야 합니다 (일반 청소기 사용 안 함), 청소 직원은 전용 청정복을 착용해야합니다.청소 후 정화 에어컨 시스템은 최소 12 시간 동안 연속적으로 작동해야하며 환경이 안정 된 상태에 도달해야합니다.
환경조건확인: 청정실내의 온도(일반적으로 20-24℃로 제어), 상대습도(45%-65%), 조도(≥300lux) 등 기초매개변수가 검사요구에 부합하는지 기록하고 확인한다.
고효율 필터 사전 검출 누수: 정식 검사 전에 예비 필터 무결성 검사를 실시하여 후속 입자 계수가 필터 누출의 영향을 받지 않도록 합니다.이 단계에서 누출이 발견되면 즉시 처리해야 한다.
2.2 주요 매개변수 검사 단계 (논리적 순서)
풍량/풍속 및 환기 횟수 측정:
우선 총 송풍량, 총 환풍량, 새로운 풍량과 배풍량을 측정하여 시스템 풍량의 균형을 확인한다.
단방향 흐름 클린룸의 경우 작업공간 단면 풍속을 측정하여 불균등도를 계산합니다 (0.25 미만).
비단방향 클린룸에 대해서는 환기 횟수 (10급 클린룸은 보통 ≥ 60회/시간 요구) 를 계산한다.
정압차 검사:
풍량 검사에 합격한 후 진행하여 모든 문이 닫힌 상태인지 확인합니다.
미세 압차계(정밀도 ≤0.1 Pa)를 사용하여 클린룸과 인접 영역, 다른 클린 수준 영역 간의 압차를 측정합니다.
10급 클린룸 요구: 동일한 클린 레벨 구역의 압차가 일치함;서로 다른 청정 등급은 인접 지역의 압차 ≥ 5Pa, 청정 구역과 비청정 구역 사이의 압차 ≥ 10Pa이다.
고효율 필터 공식 누수 검사:
풍량, 풍속, 정압차 검사에 합격한 후 진행하여 청정도 검사의 전치 조건으로 삼는다.
앞에서 서술한 방법에 따라 완전한 스캔을 진행하여 누출점을 발견하면 즉시 표시하고 복구하며 복구한후 합격될 때까지 다시 검사한다.
공기 청정도 검사:
필터 누출로 인한 데이터 왜곡을 방지하기 위해 누락 검사에 합격한 후 진행합니다.
미리 설정된 샘플링 포인트 배치에 따라 부유 입자 농도 검사를 진행하며, 각 포인트는 연속적으로 세 번 샘플링하여 평균치를 취한다.
관건적인 조작구역 (예를 들면 관장점, 조작대) 에 미생물 샘플링 지점을 추가하고 부유균과 침강균 검사를 진행한다.
자정 시간 테스트:
인위적으로 에어로졸 (예: 발연) 이나 입자 카운터를 도입하여 오염 사건을 모니터링한 후, 청정실이 고농도 상태에서 10단계 청정도 기준으로 회복되는 데 걸리는 시간을 측정한다.
10 레벨 클린룸의 자정 시간은 일반적으로 ≤ 1 분이 필요합니다.
기류 흐름 및 방향 테스트:
가시적 연기와 고속 카메라를 사용하여 기류 모드를 관찰하고 기록하여 회류, 와류 또는 사구가 있는지 확인합니다.
공기 흐름 방향이 청정 영역에서 하위 수준 영역으로의 흐름 원칙에 부합하는지 확인합니다.
3. 검측 기준
10급 클린룸의 검측 표준 체계는 국제 표준, 국가 표준 및 업계 규범을 포함하며 완전한 기술 요구 체계를 형성합니다.
3.1 핵심 매개변수 표준
부유 입자 농도: ISO 14644-1 및 GB/T 16292-2008 기준
4. 주의사항
10급 클린룸 검사 과정에서 검사 결과의 정확성과 신뢰성에 직결되는 여러 가지 핵심 제어점에 관심을 기울여야 한다.
4.1 데이터 관리 및 보고 요구 사항
전자 데이터 무결성: 컴퓨터화된 시스템으로 데이터를 기록할 때는 ALCOA+ 원칙(귀인, 명확성, 동기화, 원본, 정확)을 준수하고 데이터 변조를 방지하기 위한 감사 추적 기능을 활성화해야 합니다.
종이 기록 규범: 수동 기록은 영구적인 잉크를 사용하고 규범을 기입하며 수정처에 서명하고 날짜를 밝혀야 한다.원본 데이터는 최종 보고서와 함께 보관되어야 합니다.
보고 내용 완전성: 정식 검측 보고는 샘플링 지점 분포도, 검측 조건 (온습도, 압차), 기기 교정 정보, 검측 결과, 표준 제한치, 결론 판단 및 검측 인원 서명 등 요소를 포함해야 한다.
보관 기간: 검사 기록 및 보고서의 보존 기간은 생산된 제품의 유효 기간을 1년 이상 초과하여 품질 추적 요구 사항을 충족해야 합니다.
5. 요약
10급 청결실은 청결도 요구가 가장 높은 통제 환경 중의 하나로서 그 검측 작업은 기술성이 강하고 요구가 엄격한 전문 활동이다.과학적이고 규범화된 검측 방법 (입자 카운터법, 풍속 테스트, 필터 누수 검사 등), 엄밀한 집행 절차 (시스템 준비 → 파라미터 검측 → 데이터 분석), 엄격한 표준 요구 사항 (ISO Class 4 정적 표준) 및 전면적인 주의 사항 (인원 통제, 기기 관리, 간섭 회피 등) 을 통해 클린룸의 성능 상태를 정확하게 평가하고 고급 제조 및 연구 개발 활동에 신뢰할 수 있는 환경 보장을 제공할 수 있다.
핵심 실시 원칙은 다음과 같이 귀납할 수 있다: 국가 표준과 업계 규범을 엄격히 준수한다;가장 취약한 부분 (예: 경계, 연결부) 에 우선적으로 관심을 기울입니다.계층형 제어 정책 (정적 및 동적 결합) 구현지속적인 모니터링 메커니즘 (일상 모니터링 + 정기적인 전면 모니터링) 을 구축합니다.이러한 원칙은 공동으로 10급 클린룸 환경 보장의 기술 초석을 구성하여 반도체 제조, 고급 생물 의약 등 첨단 분야의 품질 통제에 핵심 기술 지탱을 제공하였다.