144nm 고해상도 2D 교정 샘플(foraFM, STM, Auger, FIB, SEM)

실리콘 크기:4 * 3 * 0.5mm, 도안은 알루미늄 금속으로 만들어졌다 (높이는 대략90nm, 폭75nm, 이 매개 변수는 교정되지 않았습니다. 이 패턴은 실리콘 조각으로 가득 차 있습니다.),2D홀로그램 패턴, 간격144nm, 표층 텅스텐 도금 필름, 정확도 ±1nm。

제공되는 제품은 다음과 같습니다.모형 150-2D화모형 150-2DUTC, 그 중모형 150-2D표본 교정,제조업체 인증 포함,근원을 거슬러 올라갈 수 없다;모형 150-2DUTC표본 교정,인증,추적 가능,인증서 제공 (PTB, NIST의 독일 대응）。

저희가 추천해드릴게요.모형 150-2D, 고유한 기능으로 사용이 편리하고 견고성이 뛰어나며 접촉 모드에서 스캔하여 빠른 교정 및 측정을 제공합니다.

l 2D모드,X축 및Y축 동시 정렬

l 프로브가 느려져도 이미지 대비에 영향을 주지 않음

l 접촉 스캔을 통해 높은 명암비를 얻을 수 있습니다.

l 전체 배치로 스캔 영역을 찾는 시간 절약

l 고배율 응용뿐만 아니라 중간 배수5kX개별 원체는 여전히 명확하게 구분할 수 있습니다.

AFM AFM 모드 모드 스캔

SEM 중간 확대

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