모듈식 SEM 플랫폼은 직관적인 조작, 일상적인 검사 및 연구 응용 프로그램에 적합합니다.

EVO 시리즈는 고성능 스캐닝 렌즈와 직관적이고 친근한 사용자 인터페이스 경험을 결합하여 경험이 풍부한 사용자와 새로운 사용자를 끌어들일 수 있다.생명 과학, 재료 과학 또는 일반적인 산업 품질 보증 및 손실 분석 분야에서 EVO는 광범위한 옵션 구성으로 요구 사항에 맞게 맞춤 구성할 수 있습니다.

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• 현미경 센터 또는 산업 품질 보증 연구소를 위한 다기능 솔루션

• 다양한 진공실 크기 및 모든 어플리케이션 요구 사항을 충족하는 캐리어 옵션 - 심지어 대형 산업 부품 샘플

• LaB6 필라멘트를 사용하여 뛰어난 이미지 품질 제공

• 비전도 및 비전도 코팅된 샘플의 이미징 및 분석 성능

• 다양한 종류의 분석 탐지기를 구성하여 다양한 현미경 분석 응용 프로그램의 요구를 충족시킬 수 있다

이점

편리한 가용성

SmartSEM Touch는 손끝을 사용하여 대화식 워크플로우 절차를 제어할 수 있습니다.간단하고 쉽게 배울 수 있어 교육에 드는 노력과 비용을 크게 줄일 수 있으며 심지어 새로운 사용자도 몇 분 안에 놀라운 이미지를 포착할 수 있습니다.이 사용자 인터페이스는 또한 반복 검사 작업을 수행하기 위해 워크플로를 자동화해야 하는 산업 운영자를 지원합니다.

뛰어난 이미지 품질

EVO는 처리되지 않고 전도성 코팅이 없는 샘플에 대해 고품질의 데이터를 얻는 데 뛰어나다.EVO는 또한 샘플이 원래 상태를 유지하고 물 및 오염이 심한 샘플의 데이터 품질을 유지할 수 있도록 허용합니다.또한 이미징 및 미량 분석이 어려움에 직면했을 때 LaB6 필라멘트를 선택하면 해상도, 명암비, 노이즈 비율을 높일 수 있습니다.

EVO는 다른 장치와 연결할 수 있음

EVO는 반자동, 다중모드 워크플로우의 일부로 관심 영역을 재배치하고 다양한 방식으로 데이터를 수집하여 정보의 무결성을 형성할 수 있다.광학과 전자현미경 이미지를 병합해 재료 표징이나 부품 검사를 하거나 EVO를 채사광학현미경과 연관시켜 연관 입자도 분석을 한다.

더 많은 사용자 작업에 적합

경험 이 풍부하고 초보 사용자 에게 조작 이 편리하다

실제 실험실 환경에서 SEM의 조작은 일반적으로 현미경 전문가의 전용 분야입니다.그러나 비전문가급 사용자에게 SEM을 조작하는 것은 학생, 훈련자 또는 품질 엔지니어와 같은 도전이 될 수 있으며, 그들은 종종 SEM에서 데이터를 가져와야 한다.EVO는 이 두 가지 사용자의 요구를 동시에 고려했다. 사용자 인터페이스 옵션은 경험이 있는 현미경 전문가뿐만 아니라 비전문적인 사용자의 조작 수요도 만족시킬 수 있다.

전문가 사용자

기본 사용자 인터페이스: SmartSEM

전문가 사용자는 고급 이미징 매개변수 및 분석 기능을 획득하고 설정할 수 있습니다.

SmartSEM: 숙련된 사용자를 위한 제어 인터페이스

초보 사용자

기본 사용자 인터페이스: SmartSEM Touch

초보자는 미리 정의된 워크플로우 및 일반적인 매개변수 중 일부를 사용할 수 있으며 초보자에게 적합합니다.

SmartSEM Touch: 터치스크린 컴퓨터에서 실행되는 단순화된 그래픽 사용자 인터페이스

지능형 탐색 및 이미징

샘플의 테스트 효율을 크게 향상시키고 더 많은 데이터 산출

채사 네비게이션 카메라

카메라는 샘플과 백산란 탐지기 및 대물렌즈 하단 사이의 상대 위치 (창실 카메라) 를 모니터링하기 위해 창실 전방에 설치할 수 있습니다.또는 진공실 창고문 위쪽 (네비게이션 카메라) 에 설치하여 부감도를 이용하여 샘플대에 있는 샘플의 배치 위치를 확인한다.이 뷰는 광학 현미경 이미지에서 식별되는 미리 정의된 위치를 설정하고 전체 샘플 테스트 과정에서 쉽게 탐색할 수 있습니다.

자동화된 지능형 이미징

EVO는 샘플 대량 자동, 무인 이미지 수집을 실현했다.차이스 자동화 스마트 이미징은 일상적인 검사에 매우 적합하다.경계 영역을 사용자 정의하여 원하는 뷰 또는 확대 배수로 식별된 관심 영역을 자동으로 생성하고 이미지를 자동으로 가져오기 시작할 수 있습니다.자동화된 스마트 이미징은 샘플의 테스트 효율과 더 많은 데이터 생산을 크게 향상시킬 것이다.

연구 수준을 한 단계 높이십시오.

6붕화란탄 전자발사기를 사용하면 더욱 좋은 이미지를 얻을 수 있다

6붕소화 음극은 전통적인 텅스텐 머리핀 필라멘트가 발사하는 전자에 비해 당신이 추가로 필요로 하는 이미지 품질을 보장할 수 있습니다.이러한 이점은 다음과 같은 두 가지 측면에서 나타납니다.

• 동일한 전자 프로브 크기 (즉, 해상도) 에서 더 많은 프로브 전류를 사용할 수 있으므로 이미지 탐색 및 최적화를 쉽게 할 수 있습니다.

• 동일한 프로브 전류 (신음 잡음비) 에서는 플레어 지름이 훨씬 작아 이미지 해상도가 향상됩니다.
  

낮은 가속 전압에서 높은 배율의 촉매 입자 (좌: 텅스텐 필라멘트 사용, 우: LaB6 필라멘트 사용)
LaB6 필라멘트를 사용하는 사용자는 까다로운 이미징 조건에서 최대 10배의 빔 밝기를 가질 수 있으므로 이미지 해상도와 명암비가 향상됩니다.

EVO는 다른 장치와 연결할 수 있음

워크플로우 자동화 및 관련 현미경의 이점

Shuttle & Find는 EVO, 광학 현미경 및 디지털 현미경을 연관된 다중 모드 워크플로우로 구성합니다.

차이스는 다양한 유형의 현미경과 계량 시스템의 우수한 공급업체이기 때문에 EVO를 차이스의 다른 솔루션과 결합하여 그 기능을 더욱 잘 발휘할 수 있습니다.

Shuttle & Find(체이스 연관 현미경의 소프트 하드웨어 부분)를 사용하여 (디지털) 광학 현미경과 EVO 사이에 효율적인 다중 모드 연결 워크플로를 구축할 수 있습니다.광학 현미경의 독특한 광학 대비 방법과 같은 독특한 스캐닝 선글라스 영상 및 분석 방법을 결합하여 상호 보완적인 데이터를 획득함으로써 샘플의 재료, 품질 또는 실효 기리를 더욱 명확하게 이해할 수 있다.

체이스 SmartEDX

일반 SEM 현미경 분석 애플리케이션을 위한 통합 EDS 솔루션

SEM 이미징 기술만으로는 부품이나 샘플을 포괄적으로 이해할 수 없다면 연구자들은 에너지 분광기 (EDS) 를 사용하여 원소 화학 성분의 공간 분포 정보를 수집합니다.

• 일반적인 현미경 분석 어플리케이션에 최적화

SEM과 EDS의 조합 사용은 반드시 신중하고 세밀한 고려를 거쳐야 한다.EVO의 SmartEDX는 일반적인 현미경 분석 애플리케이션에 매우 적합하며, 특히 데이터 중복성이 높은 고객에게 이상적입니다.129 eV 에너지 해상도와 1-5 nA 프로브 전류 (일반적인 EVO 작업 조건) 에서 높은 통화량을 제공합니다.질화규소 창의 우수한 투과율 덕분에 SmartEDX는 가벼운 원소로부터의 저에너지 X선을 탐지하는 데 더 적합합니다.

• 워크플로우 안내를 위한 그래픽 사용자 인터페이스

SmartEDX는 다중 사용자 환경에서 사용 편의성과 워크플로우 반복성을 향상시키도록 설계되었습니다.SmartEDX 소프트웨어는 SmartSEM Touch, ZEN core 또는 EVO의 Shuttle & Find와 같이 학습이 쉽고 직관적으로 사용할 수 있으며 SEM에서 특히 여러 작업자가 시스템을 사용하는 환경에서 분석 작업의 반복성을 보장하는 데 도움이됩니다.

• 광범위한 차이즈 서비스 및 시스템 지원
  
  SmartEDX는 Chies가 포괄적으로 지원하므로 이 EDS 솔루션은 장비 공급업체 수를 간소화하려는 고객에게 적합합니다.모든 설치, 예방 유지 관리, 무상수리, 진단 및 수리, 예비 부품 물류 및 전체 시스템 서비스 계약의 내용은 SEM 분석 솔루션에 대한 원스톱 지원을 제공하기 위해 Chies가 전적으로 책임집니다.
  

EVO 시리즈

진공실 크기 선택

	체이스 EVO 10	체이스 EVO 15	체이스 EVO 25
	EVO 10(BSD 및 EDS 옵션)을 선택하는 것은 매우 저렴한 가격으로 스캔 전자 현미경을 구입하려는 접점입니다.이 EVO 진공실이 작더라도 데스크탑 선글라스와는 다르다.현재 EVO에 투자하고 있으므로 앞으로 더 많은 공간과 포트가 필요한 애플리케이션에 대한 준비가 완료되었습니다.	EVO 15는 EVO 패밀리의 유연성 개념을 충분히 보여주며 분석 응용에 능숙합니다.EVO 15 더 큰 진공실을 선택하고 비전도 샘플 또는 부품의 이미징 및 분석에 대한 가변 압력 모드를 추가하면 다기능 다용도 현미경 장비 또는 산업 품질 보증 실험실의 솔루션이 있습니다.	EVO25는 산업용 주력 솔루션으로 부품과 부품을 더 많이 수용할 수 있는 공간이 충분하다.80mm Z축 여정 탑재대 옵션은 EVO 25의 기능을 더욱 확장할 수 있으며, 무게가 2kg에 달하는 샘플을 처리하거나 심지어 기울어지게 할 수 있다.또한 큰 진공실은 까다로운 미량 분석 어플리케이션 요구를 충족하기 위해 여러 개의 분석 검출기를 수용할 수 있습니다.
최대 샘플 높이	100 mm	145 mm	210 mm
최대 샘플 지름	230 mm	250 mm	300 mm
전동 적재대 여정 XYZ	80 x 100 x 35 mm	125 x 125 x 50 mm	130 x 130 x 50 (또는 80) mm
고진공 모드(HV) 전도성 샘플 품질의 영상 및 분석
가변 압력 모드(VP) 전도성 없음 및 전도성 레이어 샘플의 고품질 이미징 및 분석
확장 압력 모드(EP) 물이 함유되어 있거나 오염된 샘플은 그 자연 상태에서 영상이 된다

차이즈 EVO 응용 사례

인스턴스 적용

• 생산 및 조립 기업

• 전자 산업

• 강철 및 기타 금속

• 원자재

• 재료 과학

• 생명 과학

• 사법감정

• 생산 및 조립 기업

  

  아연 인산염 전기 코팅, 고진공 모드에서 SE 탐지기를 사용하여 이미징

  

  자동차 좌석 매트 거품, 가변 진공 모드에서 BSE 탐지기를 사용하여 영상을 만들고, 샘플은 전도층을 도포하지 않았다

  

  스테인리스 스틸 브레이크 표면, 고진공 모드 2차 전자 이미징

• 품질 분석 / 품질 관리

• 실효 분석 / 금상 분석

• 청결도 검사

• ISO 16232 및 VDA 19의 1 및 2 표준을 충족하기 위해 입자의 형태 및 화학 분석

• 비금속 혼합물의 분석