펄스 레이저 열반사법 박막 열전도기

NanoTR / PicoTR는

열반사법-나노급 박막 응용을 위한 맞춤형 레이저 섬광법 열전도기

열반사(Thermo-Reflectance) 방법은 초고속 레이저 섬광 시스템을 기반으로 하며, 열확산계수(Thermal Diffusivity), 열전도율(Thermal Conductivity), 흡열계수(Thermal Effusivity) 및 인터페이스 열저항과 같은 기판의 금속, 세라믹, 세라믹, 폴리머 필름의 열반사 박막의 열반사를 측정할 수 있다.

레이저 섬광 시간은 나노초 (ns) 체급에 불과하기 때문에 피초 (ps) 체급까지 도달할 수 있으며, 이 시스템은 두께가 10nm까지 낮은 박막을 측정할 수 있다.이와 동시에 시스템은 부동한 기판상황 (투명/불투명) 에 적응하기 위해 부동한 측정모식을 제공한다.

이 방법은 국제 표준을 준수합니다.
JIS R 1689: 펄스 레이저 열반사 방법을 통해 정교한 세라믹 필름의 열확산 계수를 측정한다.
JIS R 1690: 세라믹 필름 및 금속 필름 인터페이스의 열 저항을 측정하는 방법.

측정 모드

레이저 섬광법-
가장 주요한 재료 열 확산 계수 측정 방법

현대 산업에서는 재료의 열 성능, 특히 열 물리적 성능에 대한 지식이 점점 더 중요해지고 있습니다.여기서 우리는 고성능 마이크로 전자 부품에 응용되는 방열 재료, 지속 에너지의 열전 재료, 에너지 절약 분야의 단열 재료, 터빈 블레이드에 사용되는 열장벽 코팅 (TBC), 핵 공장의 안전 조작 등 전형적인 분야를 들 수 있다.

각종 열물성 파라미터 중에서 열전도 계수는 특히 중요하다.레이저 섬광법(LFA)을 사용하여 재료의 열확산 계수/열전도 계수를 측정할 수 있다.이 접근 방식은 여러 해 동안 널리 알려져 신뢰할 수 있고 정확한 데이터 결과를 제공합니다.샘플의 일반적인 두께는 50um에서 10mm 사이입니다.

NETZSCH는 세계 최고의 기기 제조 업체로서 일련의 열물성 테스트 기기, 특히 레이저 섬광법 열전도기를 제공한다.이러한 LFA 시스템은 세라믹, 금속, 폴리머, 핵 연구 등의 분야에서 널리 사용되었습니다.

열반사법-
두께가 나노미터급인 박막 재료의 열확산 계수를 측정하다

전자 설비 설계의 현저한 진보와 그에 따른 효과적인 열 관리에 대한 수요에 따라 나노급 두께 범위 내에서 정확한 열 확산 계수/열전도 계수 측정을 하는 것이 점점 중요해지고 있다.

일본 국가선진공업과학기술연구소 (AIST) 는 1990년대 초에 이미 공업수요에 호응하여"펄스광가열열반사법"의 연구개발을 시작했다.2008년에 PicoTherm사를 설립하고 동시에 나초급의 열반사기기"나노TR"과 피초급의 열반사기기"PicoTR"을 출시하였는데 이 두 기기는 박막의 열확산계수를 절대법적으로 측정할수 있으며 박막의 두께는 수십마이크로메터에서 나노급으로 낮다.

2014년, NETZSCH 일본지사는 PicoTherm사의 독점대리로 되였다.기존의 LFA 기기와 결합하여 NETZSCH는 이제 나노 박막에서 밀리미터 블록 재료에 이르기까지 모든 테스트 시나리오를 제공 할 수 있습니다.

필름을 테스트해야 하는 이유는 무엇입니까?
박막의 열성능은 블록체 재료의 열성능과 다르다

나노급 박막의 두께는 일반적으로 같은 종류의 블록체 재료의 전형적인 결정 입자 입경보다 작다.이로부터 그 열물리성능은 블록체재료와 뚜렷한 차이가 있게 된다.

서로 다른 기구에 적용되는 열 확산 시간 범위

기술 매개 변수: