Park NX10 원자력 현미경

혁신적인 연구에 이상적인 선택

Park NX10은 신뢰할 수 있고 사용 가능하며 소유할 수 있는 나노미터 해상도의 데이터를 제공합니다.Park NX10은 샘플 설정 또는 전체 스캔 이미지, 측정 및 분석에 이르기까지 혁신적인 연구에 집중할 수 있는고정밀 데이터를 동시에 제공합니다.

고정밀 측정

· 저소음 Z 탐지기는 원자력 현미경 표면의 형상을 정확하게 측정할 수 있다

· 스캐너 인터럽트를 제거하여 정확한 XY 스캔

· True Non-ContactTM 모드로 최적의 프로브 수명, 고해상도 스캔 및 샘플 보호

· 맞춤형 설계를 위한 하드웨어 및 소프트웨어 기능

Park NX10 원자력 현미경의 저소음 Z 탐지기

Z축 탐지기는 새로운 NX 시리즈 원자력 현미경의 핵심 기술 중 하나입니다.Park의 혁신적인 임기응변 센서입니다.0.2에의 저소음으로 업계 내 소음이 낮은 Z축 탐지기로 부상했다.저소음은 Z축 탐지기를 기본 형태 신호로 사용할 수 있게 해 새로운 NX 시리즈 원자력 현미경과 이전 세대의 원자력 현미경의 차이를 쉽게 관찰할 수 있다.Z축 탐지기의 소음이 너무 높으면 사용자는 사파이어 웨이퍼의 원자 계단을 관찰할 수 없습니다.Park NX 시리즈 원자력 현미경의 Z축 탐지기가 보내는 고도 신호는 소음 수준이 Z축 전압과 모양이 같다.

간단한 프로브 및 샘플 교체

독점적인 디자인으로 새로운 프로브와 샘플을 손에서 옆으로 쉽게 교체할 수 있습니다.서스펜션 프로브 클램프에 미리 정렬된 팔걸이를 장착하여 번잡한 레이저 교정 작업을 더 이상 할 필요가 없습니다.

번개같이 빠른 자동 근거리 바늘

자동 프로브 샘플 입침 기능은 사용자가 개입하지 않아도 됩니다.팔걸이가 표면에 접근하는 반응을 모니터링하여Park NX10은 팔걸이 마운트 후 10초 이내에 프로브 시료의 바늘 흡입 작업을 시작하고 자동으로 신속하게 완료할 수 있습니다.고속 Z축 스캐너의 빠른 정보 피드백과 NX 전자 컨트롤러의 저소음 신호 처리로 사용자의 개입 없이 샘플 표면에 빠르게 접근할 수 있습니다.

Park NX10 기술 매개변수

스캐너

Z 스캐너

유연성 유도 고추진력 스캐너

스캔 범위: 15 µm(30 µm 옵션)
높이 신호 노이즈 레벨오후 30분
0.5 kHz 대역폭, rms (일반)

XY 스캐너

닫힌 루프 제어의 유연한 부트XY 스캐너

스캔 범위: 50 µm × 50 µm
(可选10 µm × 10 µm或 100 µm × 100 µm)

드라이버

Z 변위대 스트로크 범위: 25 mm (자동차로)
초점 샘플대 여정 범위: 15 mm (자동차로)
XY 변위대 스트로크 범위: 20mm x 20mm(Motorized)

견본틀

샘플 크기:오픈 스페이스 최대 100 mm x 100 mm,厚度 최대 20 mm
샘플 무게 :< 500=''>

광학

10배(0.23 N.A.) 초장거리 작동 렌즈(1µm 해상도)
샘플 표면과 팔걸이의 직관적인 동축 영상
시야: 480 × 360 µm(10배 대물렌즈 포함)
CCD: 1메가픽셀, 5메가픽셀(옵션)

소프트웨어

SmartScan™는

AFM 시스템 제어 및 데이터 수집을 위한 전용 소프트웨어
지능형 모드의 빠른 설정 및 간단한 이미징
고급 수동 모드 및 보다 정교한 스캔 제어

XEI는

AFM 데이터 분석 소프트웨어

전자

통합 기능

4채널 디지털 자물쇠 증폭기
탄성 계수 교정(핫 메서드, 옵션)
데이터Q 제어

외부 신호 연결

내장형 입출력 포트 20개
TTL 출력 5개: EOF, EOL, EOP, 변조 및 AC 편압