Park systems 원자력 현미경 NX10

정확한 영상,무교차 결합 현상

업계 최고의 XYZ 축선성, 시료와 프로브는 각각 독립된 유연 유도 스캐너로 이동을 제어한다

* 수평 스캔 시 평면 오프셋이 1nm 미만인 낮은 평면 오프셋

수직 스캐너가 전체 신축 시 선형도가 0.015% 보다 우수하다

최적화된 수평 스캐너 ringing 현상, 과학적인 순방향 sine-scan 알고리즘

정확한 스캔, 진정한 비접촉 모드

업계 최고의 수직 스캐너, 대역폭 9kHz 이상, 프로브 수직 서보 응답 속도 62mm/sec 이상

무접촉 모드에서 * 빠른 스캔 속도

매우 낮은 프로브 마모로 장시간 고품질 스캔 보장

매우 낮은 샘플 손상

정확한 측정, 진정한 샘플 형태

업계 최고의 저소음 지체 측정기로 샘플의 형태를 측정하다

0.15% 미만의 업계 최고의 극소 양반 측정 편차

최적화된 냉각 부품을 사용하여 시스템 열 이동 및 지연 현상을 크게 감소

강력한 고급 방음 덮개, 선체 내부의 능동적인 온도 제어 사용자 생산성

프로브 및 샘플을 쉽게 교체할 수 있는 개방형 설계

프로브 예약 비트 클립 설계, 간단하고 편리한 측정 레이저 조절 과정, 벽돌 리익을 갖춘 위에서 아래로 직관적인 관찰 시스템

**의 "10초 핀" 기능은 프로브가 자동으로 핀에 들어가는 작업을 고속으로 완료합니다.

24비트 디지털 컨트롤러, Q-control 및 탄성 상수 교정 기능을 갖춘 세 세트의 내장 자물쇠 보관 장치

기술 매개변수

XY는스캐너

폐쇄 루프 제어식 단일 모듈 유연성 XY 스캐너

검색 범위: 50

μm × 50 μm(100 옵션

μm × 100 μm)

해상도:

0.05 nm위치 감지 소음: < 0.3nm(대역폭: 1kHz)

수평 선형: < 2nm (over 40

μm scan)

Z

스캐너

유연한 부팅 고강도 스캐너

검색 범위: 15

μm(30 μm 옵션)

해상도:

0.015 nm

위치 감지 소음: 0.03nm(대역폭: 1kHz)

공명 주파수:

> 9 kHz (typically 10.5 kHz)

표면 영상 소음: < 0.03nm (0.02nm typical)

광학 시스템

시료와 탐침을 관찰할 수 있는 직시 동축 광학 시스템
视场: 480
× 360 μm (10 × 객관 렌즈)

CCD: 1M 픽셀(픽셀 해상도: 0.4μm)
물경
10x(0.21 NA) 초장거리 작동 범위의 렌즈(1μm 해상도)

20x(0.42 NA) 고해상도 긴 작동 범위의 렌즈(0.6μm 해상도)

신호 처리

ADC: 18개 채널

고속 ADC 채널 4개(50MSPS)

X, Y 및 Z 스캐너 위치 센서용 24-bit ADCs

DAC: 12 채널

고속 DAC 채널 2개(50MSPS)

X, Y 및 Z 스캐너가 20-bit DACs 위치 지정