Park Systems 파커 원자력 현미경 XE15

세계 최고 수준의 정밀도 및 강력한 기능공원원자력 현미경 제품 특성

Park

XE15는 여러 가지 특수 기능을 갖추고 있으며, 실험실을 공유하여 각종 샘플을 처리하고, 연구원이 다변량 실험을 진행하며, 실효 분석가가 웨이퍼 등을 연구하는 두 가지 선택이다.합리적인 가격에 강력한 성능 설정을 조합하여 업계 가격 대비 * 높은 대형 샘플 원자력 현미경으로 만들 수 있습니다.MultiSample™는^{(다중 샘플링}TM

) 스캐너 * 간편한 샘플 측정

다중 샘플 일회성 자동 이미징

특수 설계된 다중 샘플 클램프, * 최대 16개의 개별 샘플

전자동 XY 샘플 탑재대, 여정 범위는 200mm x 200mm에 달한다.

스윕 정밀도 향상을 위한 축 간 결합 없음

두 개의 독립형 닫힌 루프 XY 및 Z 플랫 스캔

평판 및 선형 XY 스캔 최대 100 μm x 100 μm 및 잔여 벤딩 감소

전체 스캔 범위에서 2nm 미만의 이면 이동

강력한 스캐너 최대 25 μm Z 스캔 범위

**의 높이 측정비접촉™^{(실제 비접촉}TM

) 모드 핀팁 수명 연장, 샘플 보존 및 정밀도 개선

그 Z 스캐닝 주파수는 압전관 기초 시스템의 10배이다

비접촉식 으로 바늘 끝 의 마모 를 줄이고 사용 수명 을 연장할 수 있다

영상 해상도가 동종 원자력 현미경보다 높다.

샘플 간섭 감소, 스캔 정밀도 향상

* 우수한 사용자 환경 제공

개방형 측면 액세스로 샘플 및 팁 교체 효율 향상

미리 조준된 바늘 끝 장착과 하나뿐인 축 위 내려다보는 방법으로 간단하고 직관적으로 레이저 조준을 실현할 수 있다

제비 꼬리 자물쇠 봉투는 렌즈 분해에 편리하다

인터페이스에 자동 설정 기능이 있어 사용자가 편리하게 사용할 수 있다

다양한 모드 및 옵션

종합적 측정 모드 및 특성 설정, 당사 * 가통용 원자력 현미경

다양한 옵션 액세서리 및 업데이트를 통해 뛰어난 확장성

결함 분석을 위한 고급 전기 측정

제품 특징100um x 100의 um스캔 범위의XY는부드럽다‘

성 가이드 스캐너XY 스캐너에는 시스템 2D 벤드 및 강력한 압전 스택이 포함되어 있습니다.극소평면의 외부 이동은 비교적 큰 직교 운동을 형성한다.

또한 샘플 나노 레벨 스캔 * * 에 대한 신속한 응답을 제공합니다.유연성 가이드 강력Z

스캐너

강력한 압전 스택의 구동 및 구부러진 구조의 인도 하에, 그 경도는 스캐너가 고속으로 수직 운동을 할 수 있도록 허용하며, 전통적인 원자력 현미경 스캐너보다 더 고속이다.* 대형 Z-스캔 범위와 원격 Z 스캐너(옵션)는 12μm에서 25μm까지 연장할 수 있습니다.

슬라이딩 연결 하이퍼라이트 다이오드 헤드

원자력 현미경 렌즈를 쐐기 궤도를 따라 미끄러뜨려 쉽게 삽입하거나 꺼낼 수 있다.저상간 초발광 다이오드 헤드는 고반사 표면의 ** 이미징과 힘-모멘트 스펙트럼의 ** 측정을 실현할 수 있다.하이퍼라이트 다이오드 헤드의 파장은 간섭 문제를 줄이는 데 도움이 되므로 사용자는 가시 스펙트럼 실험에서도 본 제품을 사용할 수 있습니다.

다중 샘플 클립

특수 설계된 다중 샘플 클립은 16개의 독립 샘플을 많이 실을 수 있으며, 다중 샘플링 스캐너가 자동으로 순서대로 스캔한다.특수한 클램프는 샘플 바늘 끝에 닿도록 설계되어 사이드 통로를 남겨 두었다.인코더 옵션XY는

자동 샘플 탑재대

XY 로더가 자동으로 통합되어 견본의 측정 위치를 쉽게 제어하고 **할 수 있습니다.XY 샘플 캐리어의 이동 범위는 150으로 구성할 수 있습니다.

mm x 150mm 또는 200mm x 200mm.자동 로더와 함께 인코더를 사용하면 샘플 위치의 **도와 중복성을 높일 수 있습니다.인코딩 XY 캐리어 작동 시 해상도는 1μm, 반복률은 2μm입니다.인코딩 Z 캐리어의 해상도는 0.1입니다.

μm，반복율은 1μm입니다.고해상도 디지털 줌 감광 소자 카메라고해상도 디지털 감광 소자 카메라는 직접 동축 광학을 이용하여 줌 기능을 갖추고 있어 흔들림 여부와 관계없이 이미지가 선명한 영상 품질을 확보할 수 있다.

수직으로 정렬된 자동

Z캐리어 및 포커스 캐리어Z 캐리어와 포커스 캐리어는 팔뚝을 샘플 표면에 맞물리는 동시에 사용자의 시야가 뚜렷하고 안정적일 수 있도록 한다.포커스 캐리어는 소프트웨어 제어에 의해 자동으로 실행되기 때문에 투명 샘플 및 액체 소자 응용에 필요한 정밀도를 만족시킨다.벤드 베이스 결합XY는

화

Z스캐너Z 스캐너는 XY 스캐너와 완전히 결합됩니다.XY 스캐너는 수평면에서 시료를 이동하고 Z 스캐너는 프로브를 수직으로 이동합니다.이 구성은 * 작은 이면으로 이동할 수 있습니다.평면식XY는스캔

. 이 XY 스캔에는

고정교성과 선형

。

업계 * 최저 소음* 작은 샘플의 특성을 탐지하기 위해 * 빠른 동작 평면 이미징을 도와줍니다.ParkSystems는 업계 0.5A 이하의 * 저본저 노이즈 표준 장치를 설계했습니다.제로 스캔을 사용하여 로컬 노이즈 데이터를 탐지합니다.

진정한 비접촉 모드 핀팁 수명 연장XE 시리즈 원자력 현미경은 브릭스 강력 Z 스캐닝 시스템만의 진정한 비접촉 모드를 성공적으로 조합했다.진정한 비접촉 모드에서는 서로 밀어내는 것이 아니라 서로 끌어당기는 것을 사용한다내부 원자력

。

진정한 비접촉 모드는 이로 인해 바늘끝 샘플의 나노급 간격을 성공적으로 유지하고 원자력 현미경 이미지를 개선하여 바늘끝의 예리함을 유지했기 때문에핀팁 수명을 효과적으로 연장

。

팔걸이 지지 미리 맞추기프로브 지지대에 미리 설치되므로 필요 없음레이저 빔을 정확하게 정렬합니다.

고해상도의 직접 동축 광학 소자사용자는 직접 샘플을 내려다보며 샘플 표면을 조작할 수 있습니다.대상 지역을 쉽게 찾을 수 있습니다.고해상도 디지털 카메라는 줌 기능을 갖추고 있어 흔들어 찍든 말든 선명한 이미지 품질을 보장한다.띠

DSP는

칩을 제어하는

XE는

제어 전자 부품

원자력 현미경이 보내는 나노급 신호는 고성능 Park에 의해

XE 전자 부품을 제어하고 처리합니다.Park

XE 전자 부품은 저소음 설계에 고속 처리 장치를 장착하여 진정한 비접촉을 성공적으로 실현할 수 있다™모드는 나노급 영상 및 전압 전류를 정확하게 측정하는 이상적인 선택이다.

-

600MHz, 4800MIPS 속도의 고성능 프로세서