1. 일상적인 기초 유지 보수
1. 전원을 켜기 전에 검사한다
매일 전원 케이블, 배관 인터페이스 밀봉성 및 디스플레이 매개변수를 검사하고,"설비 운행 로그"를 만들어 핵심 데이터 (예: 압력 값, 경보 정보) 를 기록해야 한다.작업이 끝난 후에는 잔류 샘플을 비워 부식성 성분이 체류하지 않도록 해야 한다.
2. 핵심 부품 청소
샘플에 직접 접촉하는 부품 (예를 들어 샘플링 밸브, 정량 고리) 은 무수 에탄올로 닦아 소금 결정이나 미세먼지가 유도를 막는 것을 방지해야 한다.
2. 핵심 시스템 전문 정비
1. 냉동 시스템 유지 보수
매달 반도체 냉방 모듈의 방열 팬 및 여과망 청결도를 검사하고, 액체 질소 보조 냉각 시스템은 두와병 진공도를 검사하고 밀봉 코일을 교체해야 한다.
냉열교환 인터페이스는 열전도 실리콘을 골고루 발라 열저항이 커져 에너지 소모가 상승하지 않도록 해야 한다.
2. 가스 도로 시스템의 깊은 청결
분기마다 스테인리스강 파문관, 단방향 밸브 등 부품을 분해하고 초음파 세척기를 사용하여 유기물 퇴적을 제거하며 건조관 안에 분자체를 넣어 제습 효율을 높인다.
3. 주기적인 유지보수와 교정
1. 년도 대수리 계획
예비 농축 기둥 고온 활성화 재생, 실효 여과 면 교체, 회로 기판 및 계전기 접점 산화층 정리, 냉각제 충전은 전문 기술자가 완성해야 한다.
2. 센서 교정
온도센서는 매년 제3자 교정이 필요하며, 유량제어기 (MFC) 는 비누막 유량계 검증을 통과하고, 광전리 검출기는 정기적으로 아르곤가스를 불어 청소해야 한다고 건의한다.
4. 응급 및 저장 규범
1. 돌발 정전 처리
즉시 가스 적재 공급을 폐쇄하여 역흡입이 설비를 손상시키는 것을 방지하다.
2. 장기 정지 정비
전체 현상 절차를 수행하고, 보관 환경은 항온 (5-35 ℃), 저습 (<60%), 운송 시 고정 회전 부품이 필요합니다.
3급 보양체계 (일상 순찰, 전문 유지보수, 주기 교정) 를 통해 설비의 수명을 현저하게 연장할 수 있으며, 저온 진공 농축 시스템의 고효율과 안정적인 운행을 확보할 수 있다.