1. 개술

로츠 스핀들 진공 설비는 효율적이고 다단계 조합의 진공 공기 흡입 시스템으로 로츠 펌프 (Roots Pump) 와 스핀들식 진공 펌프가 직렬로 구성되어 있다.이 설비는 로츠펌프의 큰 양속 능력과 스핀펌프의 고압축비 우세를 결합하여 반도체 제조, 진공도금, 의약화학공업 등 중고진공 (10⁻²~10⁻¹Pa) 이 필요한 산업 분야에 널리 응용된다.

2. 작업 원리

1. 로츠펌프 (주펌프)

• 공기 흡입구로부터 배기구로 가스를 밀어 넣는 비접촉식 맞물림을 통해 역방향으로 회전하는 휠(회전자) 쌍을 사용합니다.

• 내부 압축 없이 고속 회전에 의존하여 최대 1000~20000m³/h의 고속 스핀을 구현합니다.

• 로츠펌프 자체로는 대기압 가스를 직접 배출할 수 없기 때문에 전급펌프(스핀펌프)를 배합하여 사용해야 한다.

2. 회전편 펌프 (전급 펌프)

• 편심 로터 및 스핀을 통해 가스를 압축하고 배출하여 초급 진공(극한 진공 약 10⁻²Pa)을 제공합니다.

• 로츠 펌프에 저배압 환경을 조성하여 설비의 효율적인 운행을 확보한다.

3. 협동 워크플로우 프로그램

• 가스는 먼저 스핀 펌프에서 중진공 범위(1~10Pa)로 추출한 후 로츠 펌프가 작동하여 진공도를 더 높은 수준으로 향상시킵니다.

3. 기술 특징

1. 고효율 에너지 절약

• 로츠펌프는 저압력구간에서 단급회전편펌프보다 속도를 현저하게 높여 에너지소모를 전통적인 설비보다 30~50% 낮춘다.

2. 넓은 작업 범위

• 중진공에서 고진공까지 커버(10~10⁻¹Pa)하여 다변화 공정 요구에 적합합니다.

3. 저진동과 저오염

• 로츠 펌프 무유 설계는 오염을 줄이고, 스핀 펌프는 오일 윤활 또는 건식(무유 스핀 펌프)을 선택하여 청정 요구 사항을 충족합니다.

4. 스마트 제어

• 현대식 설비는 PLC 제어 시스템을 갖추고 있어 펌프 속도, 과부하 보호 및 작동 순서를 자동으로 조절한다.

4. 전형적인 응용 장면

1. 태양광과 반도체

• 웨이퍼 도금, 부식 설비의 진공 환경 유지에 사용.

2. 화학공업과 제약

• 용매 회수, 진공 건조, 분자 증류 등의 공정.

3. 과학 연구와 실험실

• 동기 방사선 장치, 진공 냉동 건조기 등.

4. 식품 포장

• 포장 속 공기를 빠르게 빼내 유통기한을 연장한다.