복합분자펌프는 고효율의 진공펌프로서 전자빔을 가열하는 방식으로 고온증기를 제공할수 있으며 증기가 내표면을 통해 반등하여 고도의 진공효과를 얻을수 있으며 고진공환경에서의 기체와 동체기발, 세척과 흐름에 사용되는것은 센서시험의 리상설비이다.복합분자펌프는 분자펌프와 확산펌프의 특징을 결합하여 높은 추출속도, 높은 극한의 진공, 적재가 작고 안정성이 좋은 등 특징을 가지고 있으며, 구리수소가스화성막, 금속증도금, 광각, 플라스마각식, 고에너지 물리실험, 텔레비전관 제조 등 분야에 널리 응용되고 있다.
복합분자펌프의 작동원리는 특수한 고온과 고속도를 이용하여 작동한다.펌프가 가동되면 기화기 내부의 흑연 재료가 가열되어 액체 상태나 고체 물질이 열을 받은 후 기체 상태의 증기로 전환되어 펌프 헤드로 전도되기 시작한다.펌프 헤드는 고속 회전 기류를 형성하고, 기체는 회전 기류를 통해 분자 펌프로 진입하며, 분자 펌프 내부에서 기체 분자는 고속 등속 열량으로 유도되어 더욱 충돌이 가속화되어 최종적으로 극 공기 흐름으로 변한다.극공기류는 확산펌프를 통해 더욱 가속되여 속도가 1000m/s보다 크며 나아가 대기중으로 배출된다.
복합분자펌프는 고효율과 안정성으로 널리 응용되고 있으며 장점은 다음과 같다.
1. 고효율.복합분자펌프의 공기 흡입 속도는 통식 분자펌프보다 높고 극제동 거리가 짧으며 적재율이 낮다.
2. 높은 진공도.복합분자펌프는 고온 상태에서 작동하기 때문에 고진공도에 도달할 수 있어 고정밀 부품을 제조하는 데 이상적인 설비이다.
3. 안정성이 좋다.복합 분자 펌프의 펌프 헤드 부품은 모두 정밀하게 가공되어 윤활되어 마찰과 마모로 인한 진동과 소음을 낮춘다.
총적으로 복합분자펌프는 현재 고진공기술에서 아주 광범위하게 응용되고있는 진공펌프의 하나로서 안정적이고 능률적이며 믿음직한 사업을 제공할수 있으며 실험실의 연구와 공업제조에 조력할수 있다.