로츠 스핀들 진공 설비는 현대 공업에서 중요한 진공 획득 설비로서 로츠 펌프와 스핀들 펌프의 협동 작업을 통해 거친 진공에서 높은 진공까지 넓은 범위의 커버를 실현했다.그 핵심우세는 로츠펌프의 대추출속도와 회전편펌프의 고극한진공의 특징을 결합하여 고효률적이고 에너지절약이 가능한 진공시스템을 형성하는데 있다.
로츠스핀 진공기조는 고효율, 안정, 신뢰성 등의 장점을 가지고 있으며 응용이 광범위하여 다양한 공업 분야에 적용된다.다음과 같습니다.
장점
•고효율 안정: 로츠 스핀 진공 설비는 일반적으로 로츠 펌프와 전급 펌프 (예: 스핀 펌프) 를 조합하여 만든다.이러한 배합은 고진공 지역에서 로츠 펌프의 공기 흡입 장점을 발휘할 뿐만 아니라 조진공 단계에서의 전급 펌프의 고효율 배기 능력을 이용하여 대기압에서 고진공까지의 연속 공기 흡입 과정을 실현한다.
•구조가 합리적이다: 로츠펌프 부분은 두 개의 동시 회전, 서로 접촉하지 않는 로터를 통해 펌프 챔버 내에 끊임없이 변화하는 용적을 형성하여 가스를 공기 흡입구로부터 배기구로 효과적으로 수송하고, 가스의 역류를 줄이도록 설계하여 공기 흡입 효율을 높인다.전급 회전편 펌프는 회전편이 펌프 챔버 내의 회전에 의존하여 일련의 변화된 용적 챔버를 형성하여 끊임없이 기체를 압축하고 배출하여 로츠 펌프에 안정적인 입구 압력 환경을 제공한다.
•유지보수가 간편하다: 비록 설계가 우수하지만 장기적인 사용과정에서 여전히 정기적으로 유지보수를 진행해야 한다. 여기에는 펌프체의 마모상황을 검사하고 펌프강 및 려과기를 청결하며 베어링 및 밀봉부품의 긴장도를 검사하고 조정하는 등이 포함된다.이밖에 과학적인 조작규정을 구축하여 과적운행, 빈번한 가동중지 등 불량한 조작습관을 피면하는것도 승무원의 사용수명을 연장하고 고효률과 안정을 유지하는 관건이다.
적용 시나리오
•반도체 제조: 웨이퍼 처리, 광각, 식각 등 핵심 단계에 사용되며, 필요한 진공 조건을 제공한다.
•식품포장: 저산소 또는 무산소 환경을 만들어 식품의 유통기한을 연장하고 제품의 품질을 향상시킨다.
•재료과학: 재료의 합성, 개성, 테스트 등에 사용되며 필요한 진공 분위기를 제공합니다.
•진공 도금막, 진공 열처리, 진공 건조: 이러한 공정에서 대체할 수 없는 역할을 발휘한다.
•진공 제련, 강액 탈기, 진공 소결: 큰 추출 속도와 낮고 높은 진공을 얻어야 하는 각종 진공 시스템에 적용된다.
이러한 장점과 응용 장면의 소개를 통해 로츠 스핀 진공 설비가 공업 생산에서 중요한 가치와 광범위한 응용 전망을 가지고 있음을 알 수 있다.