확산펌프설비는 진공도금기에서 극히 중요한 역할을 하는데 그 유지보수와 응용방법은 설비의 정상적인 운행을 확보하고 사용수명을 연장하는데 극히 중요하다.다음은 확산펌프 설비의 유지보수 및 응용에 관한 구체적인 건의이다.

확산 펌프 세트의 유지 보수 방법

• 냉각수 관리: 운행 중 냉각수 공급이 원활해야 한다.가열을 멈춘 후, 펌프 작업액이 냉각될 때까지 기다려야 냉각수를 닫을 수 있다.

• 진공 상태 관리: 확산 펌프가 작동을 멈출 때는 펌프의 오일 열화를 방지하기 위해 내부 진공 상태를 유지해야 한다.장기간 보관할 때도 진공 상태를 유지하고 냉각수 커버 안의 남은 수분을 제거해야 한다.

• 가스관리: 피흡기체는 건조하고 부식성이 없으며 먼지가 없어 확산펌프의 정상적인 운행을 확보해야 한다.

• 정기적인 검사: 펌프 오일의 감소 또는 산화 여부, 부품 및 펌프 챔버의 청소를 포함하여 펌프의 성능을 정기적으로 검사합니다.필요할 때 주유, 환유 또는 세척 처리를 한다.

• 재부팅 전 누수 검사: 재부팅 전 반드시 누수 검사 작업을 진행하여 연결부에 공기 누수 위험이 없도록 해야 한다.

확산 펌프 세트의 응용 방법

• 설치 및 조립: 재조립할 때, 펌프 코어와 펌프 바닥이 수직이고 펌프 챔버와 동심이어야 하며, 각급 노즐 간격은 원래 요구에 따라 잘 조정해야 한다.

• 세척 및 건조: 부품 및 펌프 챔버를 세척할 때 먼저 항공 휘발유로 세척한 다음 아세톤으로 닦고 섭씨 80~100도에서 말리거나 전기 드라이로 말린다.

• 시동 조건: 확산 펌프의 전급 진공도에 도달해야만 가열할 수 있다. 그렇지 않으면 펌프 오일의 산화를 가속화시킬 수 있다.

• 전급기계펌프의 관리: 전급기계펌프의 작업상황에 주의를 돌려야 한다. 왜냐하면 전급기계펌프의 성능은 기름확산펌프의 정상적인 작업에 직접적인 영향을 미치기때문이다.

이상의 유지보수 방법의 응용을 통해 확산펌프 설비의 사용 수명을 효과적으로 연장하고 효율적이고 안정적인 운행을 확보할 수 있다.