터빈분자펌프는 고속으로 돌아가는 로터가 기체분자운동을 휴대하여 초고진공을 획득하는 기계식진공펌프로서 동엽륜과 정엽륜을 조합하여 만든것으로서 확산펌프보다 에너지가 절약되고 기름증기오염이 없으며 동시에 분자류시 추출속도가 크고 압축비가 높은 특징을 갖고있다. 현재 국내에서 추출속도가 큰 분자펌프로서 동엽륜은 변단면가공을 채용하여 그 강도가 증가되고 무게가 감소되여 분자펌프의 성능이 더욱 믿음직하고 안정되도록 한다.
터빈 분자 펌프 작동 주의사항
♦전급 펌프가 작동할 때 (전급 파이프라인 연결) 와 진공실이 진공 상태일 때 터빈 분자 펌프를 멈출 수 없다. 그렇지 않으면 유증기가 전급 파이프라인에서 펌프의 청결단으로 빠르게 환류할 수 있다.
♦분자펌프 시스템은 건조 가스를 충전하기 전에 반드시 분자펌프 냉각수를 끄고 펌프의 고진공단에서 공기를 충전해야 한다.펌프의 전급 파이프라인에서 절대로 바람을 넣어서는 안 된다.
♦시스템 전면 펌프의 크기를 선택하고 터빈 분자 펌프의 전면 레벨을 분자 흐름 상태로 유지해야합니다.
♦터빈 분자 펌프가 정격 작업 회전 속도보다 낮게 작동하게 해서는 안 된다.
♦분자펌프 입구에는 이물질이 펌프 안으로 들어가 펌프 로터와 고정자 날개를 손상시키지 않도록 보호망을 설치해야 한다.
터빈 분자 펌프의 응용 분야:
♦분석 (질량 분석기, 전자 현미경 등).
♦반도체 산업 (전자부품, 집적회로, 태양전지 등).
♦광학 / 유리 산업 (방열, 반사 방지, 반사, 광학 필터링 코팅 등).
♦코팅 기술 (표면 보호, 장식 코팅, 모니터, 화면 등).
♦진공 제련 (진공 용접, 진공 소결, 진공 합금, 진공 난로 등).
♦누출 검사 기술 (진공 장비, 차량 연료 탱크, 에어백, 포장 등).
♦과학 연구 장비 (핵 물리학, 융합 반응 연구, 레이저 응용 등).
♦조명 장비 산업 (전구 생산).