F3 단일 피막 두께 측정기

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개요

F3 단일 피막 두께 측정기

제품 정보

KLA의 Filmetrics 시리즈는 스펙트럼 반사 기술을 이용하여 박막의 두께를 정확하게 측정하는데, 그 측정 범위는 nm-mm에서 포토레지스트, 산화물, 실리콘 또는 기타 반도체 막, 유기 박막, 전도성 투명 박막 등 막의 두께를 정확하게 측정할 수 있으며, 반도체, 마이크로전자, 생물의학 등 분야에 널리 응용되고 있다.Filmetrics는 F10-HC, F20, F32, F40, F50, F60-t 등 다양한 제품을 갖추고 있으며 몇 mm에서 450mm 크기의 샘플을 측정할 수 있으며 박막 두께 측정 범위는 1nm에서 mm급이다.F3-sX는 많은 반도체 및 전매질층의 두께를 측정할 수 있으며 최대 두께는 3mm에 달한다.F3-sX 시리즈는 10마이크로미터의 테스트 플레어 지름을 구성하여 다른 필름 두께 측정 기기가 측정할 수 없는 재료 필름층을 빠르고 쉽게 측정할 수 있다.

측정 원리 - 스펙트럼 반사

스펙트럼 타원 편광기 (SE) 와 스펙트럼 반사기 (SR) 는 모두 분석 반사광을 이용하여 전매질, 반도체, 금속 박막의 두께와 굴절률을 확정한다.이 둘의 주요 차이점은 타원형 반사기는 작은 각도에서 박막에서 반사되는 빛을 측정하고, 스펙트럼 반사기는 박막에서 수직으로 반사되는 빛을 측정한다는 것이다.스펙트럼 반사기는 편광 효과를 무시하는 수직 빛을 측정합니다 (대부분의 박막은 회전 대칭입니다).어떤 모바일 장치도 다루지 않기 때문에 스펙트럼 반사기는 간단하고 저렴한 기기가 된다.스펙트럼 반사기는 쉽게 통합하여 더욱 강력한 투광률 분석을 추가할 수 있다.스펙트럼 반사기는 일반적으로 박막의 두께가 10um을 초과하는 것이 가장 좋으며, 타원형 반사기는 10nm보다 얇은 막의 두께에 치중한다.두 기술 모두 10nm에서 10um 두께 사이에 사용할 수 있습니다.그리고 빠르고 간편하며 원가가 낮은 특징을 가진 스펙트럼 반사기는 일반적으로 더 좋은 선택이다.

1. 주요 기능

주요 애플리케이션

두꺼운 필름 두께, 굴절률, 반사율 및 투과율을 측정합니다.

기술력

스펙트럼 파장 범위: 380-1580nm

두께 측정 범위: 10nm-3mm

n&k 최소 두께 측정: 50nm

정확도: 큰 값, 50nm 또는 0.2%

정밀도: 5nm

안정성: 5nm

반점 크기: 10µm

샘플 크기: 직경 1mm ~ 300mm 이상