F60 전자동 필름 두께 측정기

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개요

F60 전자동 필름 두께 측정기

제품 정보

하나,소개

KLA의 Filmetrics 시리즈는 스펙트럼 반사 기술을 이용하여 박막의 두께를 정확하게 측정하는데, 그 측정 범위는 nm-mm에서 포토레지스트, 산화물, 실리콘 또는 기타 반도체 막, 유기 박막, 전도성 투명 박막 등 막의 두께를 정확하게 측정할 수 있으며, 반도체, 마이크로전자, 생물의학 등 분야에 널리 응용되고 있다.Filmetrics는 F10-HC, F20, F32, F40, F50, F60-t 등 다양한 제품을 갖추고 있으며 몇 mm에서 450mm 크기의 샘플을 측정할 수 있으며 박막 두께 측정 범위는 1nm에서 mm급이다.Filmetrics F60 시리즈 제품은 F50 제품처럼 필름 두께와 굴절률을 측정할 수 있지만 생산 환경에 사용되는 많은 기능을 추가합니다.이러한 기능에는 노치 자동 감지, 자동 벤치마크 확인, 완전 폐쇄 측정 플랫폼, 사전 설치된 소프트웨어의 산업용 컴퓨터, 완전 자동화 웨이퍼 전송으로 업그레이드된 모델이 포함됩니다.서로 다른 F60-t 기기는 파장 범위에 따라 구분한다.짧은 파장 (예: F60-t-UV) 은 일반적으로 얇은 필름을 측정하는 데 사용되며, 긴 파장은 더 두껍고, 더 평평하지 않으며, 더 불투명한 필름을 측정하는 데 사용됩니다. .

측정 원리-스펙트럼 반사

스펙트럼타원 편광기(SE)와 스펙트럼 반사기(SR)는 모두 분석 반사광을 이용하여 전매질, 반도체, 금속박막의 두께와굴절률두 가지의 주요 차이점은 타원형 측정의 작은 각도에서박막반사된 빛과 스펙트럼 반사기는 박막에서 수직으로 반사된 빛을 측정한다.스펙트럼 반사기는 편광 효과를 무시하는 수직 빛을 측정합니다 (대부분의 박막은 회전 대칭입니다).어떤 모바일 장치도 다루지 않기 때문에 스펙트럼 반사기는 간단하고 저렴한 기기가 된다.스펙트럼 반사기는 쉽게 통합하여 더욱 강력한 투광률 분석을 추가할 수 있다.스펙트럼 반사기는 일반적으로 박막의 두께가 10um을 초과하는 것이 가장 좋으며, 타원형 반사기는 10nm보다 얇은 막의 두께에 치중한다.두 기술 모두 10nm에서 10um 두께 사이에 사용할 수 있습니다.그리고 빠르고 간편하며 원가가 낮은 특징을 가진 스펙트럼 반사기는 일반적으로 더 좋은 선택이다.