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소주시 오강 동리경제개발구
소주혁태환경과학기술유한회사
liuyuanzhi@eti-test.com
19201635557
소주시 오강 동리경제개발구

1. 개요:
ET-R101FS형 레이저 먼지 입자 계수기는 쑤저우 이타이환경과학기술유한공사 온라인 모니터링 시스템의 제품 중의 하나이다.최소 입경 기어 감지 가능0.1μm, ISO7-ISO1의 청정 환경을 검측할 수 있으며, 샘플링 유량은 2.83L/min이며, 반도체 업계의 고정밀 청정 환경 검측 설계를 위해 설계되었으며, 전통적인 정밀도 한계를 돌파하고, 포토레지스트 휘발을 정확하게 포착하며, 설비의 마모로 인한 마이크로미터 오염 입자를 정확하게 포착하여 ISO1급 청정도에 대한 나노 공정의 가혹한 요구를 만족시킨다.계기는 검측 정밀도가 높고 인간과 컴퓨터의 인터페이스가 우호적이며 기능이 풍부하고 조작이 간단하다.
이 제품은반도체、전자,광학,새로운 에너지, 정밀 기계,화학, 의약위생, 생물제품, 항공우주,등 부문.
2. 특징:
◆ 304 스테인리스 스틸 하우징(맞춤형 항공 알루미늄 소재)
◆ 5.0 고화질 컬러 터치 스크린, 간단한 조작
◆ 최소 검출 입경 0.1μm, 8채널
◆ 약 5백만 개의 데이터 저장소 + USB 데이터 익스포트 + 클라우드 연결
◆ SCADA/MES 시스템 도킹 지원
◆ ESD 보안 지능형 전력 관리 시스템
◆ ISO 14644-1 청정도 등급 보고서 자동 생성
◆ 액티브 트래픽 제어 PID 자동 조절
◆ 폭발 방지 수요 맞춤형, 폭발 방지는 케이스에 대해서만 폭발을 방지하며, 구체적으로 고객의 수요에 따라 일대일 맞춤형을 진행한다.
3. 성능:
◆샘플링 트래픽: 2.83L/분 ±5% (0.1 CFM)
◆입경 분포 오차;국우±20%FS
◆표시 농도 오차;국우±20%FS
◆자정 시간;국우≤8분
◆중복성 상대 오차;국우≤8%FS
◆샘플링 농도,리터당 35000개
◆에적다5000000개의 샘플링 데이터 저장소
4. 응용:
반도체 청정 공장 건물 검측;
웨이퍼 패키징 제품 라인 모니터링;
광각 생산라인 모니터링;
정밀 광학;
새로운 에너지;
항공 우주;
5. 기술매개변수:
샘플링 트래픽 |
2.83L/분 |
입자 입경 분단 |
8채널:0.1μm, 0.15μm, 0.2μm, 0.25μm, 0.3μm, 0.5μm, 1.0μm, 5.0μm |
레이저 광원 |
수명이 긴 레이저 다이오드, 수명>35000시간 |
샘플링 농도 |
입방 피트당 1000000개 |
샘플링패턴 |
연속 샘플링+ 실시간 카운트, 간격 샘플링, 누적 카운트 |
계수 효율 |
50%@0.1μm;100%@> 0.15μm符合ISO21501-4의 |
샘플링 지연 시간 |
사용자 자체 설정 |
샘플링 간격 |
사용자 자체 설정 |
통신 프로토콜 |
Modbus는 |
통신 방식 |
RS485, 인터넷 |
데이터 메모리 용량 |
약500만조회 가능한 그룹 측정 데이터,내보내기 |
화면 표시 |
5.0컬러HD터치스크린 |
인쇄 방법 |
온라인 지원되지 않음 |
전기 소스 |
DC12V(9-28VDC) 출력은 12V3A 이상이어야 합니다. |
참조 기준 |
ISO 21501-4, GBT29024.4-2017, JJF1190-2008 |
데이터 통신 인터페이스 |
USB(직접 내보내기 또는IOT 온라인 모니터링 시스템 보기),RS485 및RJ45는 |
링 경계 |
사용 환경:10∽40℃ 상대 습도 20∽95%RH |
스토리지 환경:-20 ℃ ∽ 45 ℃ 상대 습도 0 ℃95%RH | |
대기 압력:86-106kPa | |
표준 부품 |
등동력 샘플링 헤드, 샘플링 헤드 호스, 자정 필터, 사용설명서, 원공장 교정보고, 합격증 등 |
외형 치수 |
폭220mm×높이162mm×깊이130mm(포함 안 함샘플링 포트, 경보등) |
재료 질 |
304스테인리스강 |
무겁다 양 |
2.8Kg의 |
6. etiedt 혁태정과:
쑤저우 이타이 환경과학기술유한공사 국산 청정환경 검측기기 지능화 혁신 응용 전문 최전방 기업;
수입기기 국산화 대체 브랜드 신세력;
국내는 브랜드 서비스 업체를 정화하고 양질의 서비스 업체를 정화한다;
청정 마이크로 환경 지능 모니터링 기기 전체 솔루션 전문 기업
반도체 청정 환경 검측, 혁태정과 E 시리즈 레이저 먼지 입자 계수기 검측 등급은 10급에서 30만 급의 환경 검측을 만족시킬 수 있다;
온라인 0.1μm 먼지 입자 카운터온라인 모니터링 시스템;
온라인 0.1μm 먼지 입자 카운터원격 환경 온라인 모니터링 시스템