TS200 8인치 수동 프로브

MPI 고출력 부품 표징 시스템은 웨이퍼의 고출력 부품 테스트를 위해 설계되었습니다.PI TS200-HP 프로브 시스템은 완전한 200mm 웨이퍼 솔루션을 제공합니다.그들은 넓은 온도 범위 내에서 전력 반도체의 저접촉 저항 측정을 실현하도록 설계되었다.

2. 제품 설명

1. 독립 실행형 다중 응용 프로그램 설계

구성 요소 특성 설명 및 모델링, 웨이퍼 레벨 신뢰성(WLR), 손실 분석(FA), 집적회로 엔지니어링, 마이크로 전기 기계 시스템(MEMS) 등 다양한 웨이퍼 측정 응용프로그램에 적용

2. 공학과 안전 설계

• 한 손으로 조작하기 편리한 빠른 방출 드래그 에어 캐리어 설계
• 최대 10개의 고전압 HV 또는 4개의 큰 전류 HC 마이크로 스로틀이 장착된 견고한 작업대
• 전자기 차폐함 및 작업대 아크 차폐 ArcShield 설계, 고압 측정을 위한 안전 보호
• 고재현성을 위한 3단형 작업대 급상승손잡이 설계(contact - separation- loading)

3. 탄력적 옵션 및 업그레이드

또한 다양한 기기 연결 옵션과 웨이퍼 탑재 물대를 업그레이드할 수 있으며, DC/RF/mmW 마이크로 위치추적기, 광학 현미경, 영상 렌즈, 전자기 차폐함 등 많은 부품을 탑재하여 응용 수요를 완전히 지원할 수 있다

3. 특징과 우세

1. 공기 단계

간단한 싱글 핸드 디스크 제어로 탁월한 조작 편의성을 제공하는 MPI 에어 베어링 플랫폼은 정확성과 정확한 위치 파악에 영향을 주지 않으면서 빠른 XY 탐색 및 빠른 웨이퍼 적재를 가능하게 하며 추가로 정교하고 정확한 25x25mm XY-Theta 마이크로바이트 코어를 제공합니다.

2. 10kV 동축 또는 3k 3축 루프 카드(10kV coaxial or 3kV triaxial ambient Chucks)

카드 옵션에는 최대 300 ℃ 의 온도 측정을 지원하는 MP의 10kV 동축 또는 3kv 3축 링 카드 또는 다양한 ERS 핫 카드 디스크가 포함됩니다.열 터치 컨트롤러는 프로브에 설치할 수 있도록 설계되어 있어 조작이 빠르고 편리하다.

3. HV/HC 프로브(HV/HC probes)

MPI 고출력 프로브 솔루션에는 접촉 저항을 낮추기 위해 MPI의 독점적인 멀티-터치 팁을 사용하는 전용 고압 및 고전류 프로브가 포함됩니다.MPI의 고압 프로브는 고압 테스트 중에 저누출 전류 측정을 할 수 있으며, 최대 3kV 3축 또는 5 및 10kV 동축 설정을 테스트할 수 있다.

4. 안전하고 정확함(Safe and Accurate)

표준 수동 고출력 프로브 시스템은 DarkOX로 구성되어 있으며 안전 및 EM 차폐 기능의 상호 잠금을 제공하여 저소음, 정확하고 안전한 측정을 보장합니다.

5. 기기 통합(Instruments Integration)

TS150-HP/TS200-HP는 Keysight B1505(3kV 또는 10kV) 또는 Keithley와 같은 테스트 장비와 최상의 연결을 위해 2600-PCT-XB, 8020 고출력 인터페이스 패널 통합을 포함하여 필요한 고압/대전류 프로브 및 케이블 연결 액세서리를 포함하여 다양한 기기 연결 패키지를 구성할 수 있습니다.

4. 기능 매개 변수

사양

프로브 프레스

비열에너지 고출력 카드