복합 분자 펌프 업체

ZYFB-1200의복합 분자 펌프 업체

분류

이 펌프는 구체적으로 다음과 같이 나눌 수 있습니다.

1) 견인분자펌프 가스분자가 고속으로 움직이는 로터와 충돌하여 동량을 얻어 펌프의 출구로 보내진다.

2) 터빈분자펌프는 고속으로 회전하는 동엽편과 정지된 정엽편이 서로 배합하여 공기를 뽑는다.이 펌프는 일반적으로 분자 흐름 상태에서 작동합니다.

3) 복합분자펌프는 터빈식과 견인식 두 종류의 분자펌프를 직렬로 조합한 복합형의 분자진공펌프이다.

구조적 특징

복합식 분자펌프는 터빈 분자펌프와 견인 분자펌프의 직렬 조합으로 두 펌프의 장점을 하나로 모았다.펌프는 매우 넓은 압력 범위 내 (10-6~1Pa) 에서 비교적 큰 추출 속도와 비교적 높은 압축비를 가지고 있어 펌프의 수출 압력을 크게 향상시켰다.프랑스 Alcatle사가 생산한 가스정 * 승화 동밀봉을 채용한 복합분자펌프는 * 기름이 없고 전급펌프를 사용하지 않고 대기중으로 직접 배기할수 있다.

작업 조건

(1) 회전자의 회전 속도가 20000r/min에 달하기 때문에 분자펌프의 가동 시간이 비교적 길다.

(2) 기체는 분자류 상태에 있기 때문에 전급 펌프를 갖추어야 하며, 일반적으로 회전편 펌프를 전급 펌프로 사용한다.

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설계 요점

복합분자펌프의 설계에서 반드시 터빈급과 견인급 사이의 응배와 연결 관계를 잘 처리해야 한다.터빈급은 비교적 큰 공기 흡입 면적이 있기 때문에 흡입 속도가 매우 크지만 견인급 도랑의 공기 흡입 면적은 비교적 작다. 두 가지 구조의 연결 부위에서 터빈 날개에서 압축된 기체 분자의 유동 방식이 갑자기 전환되어 기체 분자의 운동이 연결 부위에서 질서에서 무질서로 변하고 환류가 증가하며 공기 흡입 능력이 떨어진다.따라서 펌프의 공기 흡입 성능을 향상시키기 위해 터빈급과 견인급 전환에 과도급 구조를 추가하여 설계해야 한다.

복합분자펌프가 끊임없이 개선됨에 따라 그 응용분야가 갈수록 넓어지고있으며 일부 가스흡입시스템에서 확산펌프를 대체할수 있어 시스템의 가스흡입시간을 단축할수 있으며 기름오염이 없는 청결진공환경을 얻을수 있다.