터빈 분자 펌프

ZYFB-3600의터빈 분자 펌프

기술 매개변수 테이블

모델

ZYFB-3600 흡입구 플랜지

400 ISO-K 배출구 플랜지

100 ISO-K

공기 흡입 속도(L/S)(대공기) 3600

압축비

N2>108 H2>6X102

극한 압력(Pa) <2 × 10-6

정격 회전 속도(rpm) 12600

베어링 사용

수입 세라믹 베어링

진동치 ≤ 0.15 μm

시작 시간(min)<10

가동 중지 시간 (min) <20

권장되는 전면 펌프(L/S) 30

냉각 방식 수냉

냉각수 온도(℃)≤20

냉각수 유량(L/min)1

펌프체 구이 온도(℃)<80

주변 온도 (℃) 5-40

설치 방향

수직 ± 5 °

펌프 무게(kg) 약 100

ZYFB-3600의터빈 분자 펌프

고속으로 돌아가는 로터가 기체분자운동을 휴대하여 초고진공을 획득하는 기계식진공펌프로서 동엽륜과 정엽륜을 조합하여 만든것으로서 확산펌프보다 에너지가 절약되고 기름증기오염이 없으며 동시에 분자가 흐를 때 추출속도가 크고 압축비가 높은 특징을 갖고있어 현재 국내에서 추출속도가 큰 분자펌프로서 동엽륜은 변단면가공을 채용하여 그 강도가 증가하고 무게가 줄어들어 분자펌프의 성능이 더욱 믿음직하고 안정적이다.

이 분자펌프는 피추출기체에 대해 선택성이 없고 기억효과가 없으며 분자량이 많은 기체에 대해 아주 높은 압축비가 있기에 이 펌프는 랭계와 기름가림막이 필요하지 않아 청결한 고진공과 초고진공을 얻을수 있다.그것은 전자, 야금, 화학공업, 과학연구 및 진공기술의 각 분야에 광범위하게 응용된다.