단일 표적 자기 제어 사출 도금기

이 단일 표적 자기 제어 사출 도금기자기 제어 표적 세트와300W RF 사출 전원 공급 장치 또는 500W DC 사출 전원 공급 장치 또는 100W 편압 전원 공급 장치 세트.도금 시 필요에 따라 직류 사출 전원, 편압 전원 및 RF 사출 전원에 수동으로 연결할 수 있습니다.또한 고객의 수요에 따라 회전 가능한 샘플대, 가열형 샘플대, 다기능 샘플대를 배치할 수 있으며, 전체 기계성 가격 비율이 높으며, 각종 금속 (또는 비금속) 박막을 제작하는 이상적인 도금 설비이며, 각종 금속 표적재와 진공 시스템을 선택할 수 있다.
기술 매개변수

1. 입력 전원: 220VAC 50/60Hz

2. 사출 전류: 0-150mA 조정 가능

3. 전체 전원: <2KW

4. 출력 전압: ≤ 상한값 1600VDC

5. 사출강체: 석영강체를 사용하며 크기: 166mm OD x 150mm ID x 290mm H

6, 진공 밀봉: O형 밀봉 코일로 밀봉

7. 자기 제어 표적: 물 냉각이 있는 2인치 자기 제어 사출 헤드, 필요에 따라 1인치 자기 제어 표적을 선택할 수도 있다

8. 샘플대: 직경 50mm 스테인리스강 샘플대, 샘플대 회전 가능, 회전속도 0-5RPM, 수동 조작이 가능한 사출 베젤, 샘플대와 표적 사이의 거리 조절 가능, 조절 범위: 30-80mm

9. 과녁 헤드 브래킷을 장착하여 사출 상태가 아닐 때 사출 과녁 헤드를 배치할 수 있다

10. 사출 면적: 4인치

11. 진공 시스템: KF25 진공 인터페이스, 디지털 진공 압력계(Pa)가 설치되어 있으며, 이 시스템은 Ar가 필요합니다.가스, 그리고 가스통에 감압밸브 (설비에 포함되지 않음) 가 설치되어 있어 고객의 구체적인 수요에 따라 각종 진공펌프를 선택하여 실제 공급에 따라 비용을 계산할 수 있다.

12. 공기 흡입: 공기 흡입을 제어하는 바늘 밸브와 공기 흡입 밸브를 포함한다. 본 설비는 공기 흡입을 위해 감압 밸브를 설치해야 한다. (우리 회사에서 감압 밸브를 선택할 수 있다.)

13. 표적재 사이즈 요구: Φ50mmx(0.1-2.5)mm(두께), 사출 Au, Ag, Cu, Al, Ti, 등 금속(우리 회사에서 선택 구매 가능) 사출 각종 금속 표적재에 대해 모색해야 한다 *이상적인 사출 파라미터, 아래 표는 우리 회사 실험에 설치된 파라미터이다

14. 때로는 이상적인 박막 두께에 도달하기 위해 여러 번 도금해야 한다.도금막을 튀기기 전에 튀기기 헤드, 표적재, 기판과 샘플대의 청결이 박막과 기저의 양호한 결합에 도달하도록 확보하려면 튀기기 전에 초음파로 기재 표면을 세척하십시오.

15. 기재 세척 방식

(1) 아세톤 초음파 세척 → 이소프로필알코올 초음파 세척 유지 제거 → 질소 건조 → 진공 건조기 수분 제거

（2플라즈마 세척: 표면을 거칠게 할 수 있고, 표면 화학 키를 활성화할 수 있으며, 추가 오염물을 제거하여 얇은 완충층을 만들 수 있다 (5nm 정도): Gr, Ti, Mo, Ta와 같이 금속과 합금을 개선하는 데 적용할 수 있는 부착력입니다. 이 사출 도금기는 Ar 또는 N2 가스 장갑 상자에 넣어 사출할 수 있습니다.