소형 단일 표적 자기 제어 사출 도금기

협상 가능업데이트08/04

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개요

간단한 소개: 소형 단일 표적 자기 제어 사출 도금기는 우리 회사가 자주적으로 연구 개발한 고성 가격 대비 자기 제어 사출 도금 설비로 소형화, 표준화의 특징을 가지고 있다.자기 제어 표적은 1인치, 2인치로 선택할 수 있으며, 고객은 도금한 기판의 크기에 따라 스스로 선택할 수 있다

제품 정보

자세한 내용:

소형 단일 표적 자기 제어 사출 도금기는 우리 회사가 자주적으로 연구 개발한 고성 가격 대비 자기 제어 사출 도금 설비로 소형화, 표준화의 특징을 가지고 있다.자기 제어 표적은 1인치, 2인치를 선택할 수 있으며, 고객은 도금한 기판의 크기에 따라 스스로 선택할 수 있다;150W DC 전원 공급 장치가 장착되어 있으며 금속 사출 도금에 사용할 수 있습니다.도금기는 통기 인터페이스를 장착하여 보호성 기체를 통입할 수 있으며, 만약 고객이 혼합 기체를 통입해야 할 경우, 직원과 연락하여 스스로 고정밀 품질 유량계를 배치하여 실험 수요를 만족시킬 수 있다.기기는 첨단 터보 분자 펌프 세트를 표준으로 장착하고 극한 진공은 1.0E-5Pa에 달하며 다른 종류의 분자 펌프를 선택할 수 있습니다.

소형 단일 표적 자기 제어 사출 도금기적용 대상:

이 설비는 단층 철전박막, 전도박막, 합금박막 등을 제조하는 데 사용할 수 있다.이 단일 표적 자기 제어 사출 도금기는 동종 설비에 비해 소형화 설계를 거쳐 고도로 집적되어 있고, 부피가 작아 책상 위에 놓아 사용할 수 있으며, 실험실에서 재료 박막을 제조하는 이상적인 설비이다.

소형 단일 표적 자기 제어 사출 도금기기술 매개 변수:

소형 단일 표적 자기 제어 사출 도금기
견본대	치수	φ138mm	온도 조절 정밀도	±1℃
견본대	가열 온도	* 높음500℃	회전속도	1-20rpm조정 가능
자기 제어 사출 헤드	수량	2” x1（1”,2”옵션)	수냉기 규격	10L/min유속의 순환 수냉기
자기 제어 사출 헤드	냉각 방식	수냉
진공강체	캐비티 크기	φ180mm × 215mm	관찰 창	전방향 투명
진공강체	강체 재료	고순도 석영	오픈 방법	상단 덮개 분리식
진공 시스템	제품 모델	CY-GZK103-A	공기 흡입 커넥터	KF40
	분자 펌프	CY-600	배기 커넥터	KF16
	전극 펌프	스핀 펌프	진공 측정	복합 진공계
	극한 진공	1.0E-5Pa	전원 공급 장치	AC;220V 50/60Hz
	공기 흡입 속도	분자 펌프:600L/S 스핀 펌프:1.1L/S 종합적인 공기 흡입 성능:20분당 최대 진공:1.0E-3Pa
전원 공급 장치 구성	수량	DC 전원 공급 장치×1	* 고성능	150W
기타	전력 공급 전압	AC220V,50Hz	전체 크기	500mm × 350mm × 400mm
	전체 전원	1.7KW(진공 펌프 세트 1.5KW+ 기본 0.2KW)	전체 중량	30kg

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